維意真空高低溫真空探針臺支持定制

一、設備概述：

　　高低溫真空腔探針系統主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環境，以便測量分析溫度變化時芯片性能參數的變化。腔體內被測芯片在真空環境中有效避免易受氧化半導體器件接觸空氣所帶來的測試結果誤差。

　　極低溫測試:

　　因為晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。

　　高溫無氧化測試：

　　當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，探針座位于腔體外部，可以在不破壞真空度的同時調整探針達到理想位置進行測量。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。

探針座采用真空室外置結構，通過探針臂與探針實現同步、線性位移;探針座采用鋁制整體式結構，結構緊湊、承載大、精度高、穩定性好等優點，三維調節范圍為X、Y、Z±20mm，驅動方式為手動測微頭，驅動位置為V型導軌+交叉滾珠中心驅動，產品定向性能穩定，采用精密研磨絲桿M3*0.5分辨率高，配合做大手輪，最小刻度0.01mm，精度0.001mm，直線度單軸0.002mm，重復定位精度±2微米，單軸直線度±2微米，固定方式為沉孔螺釘固定。自重1.7Kg，負載5Kg。

　　探針夾具采用同軸探針夾具，接BNC公接頭。阻抗，50歐姆;接頭，Coaxial BNC公口;最小漏電流，10pA;線徑，30AWG;電壓，700V。考慮到在做晶圓測試時是在高溫下測量，所以探針夾具連接處需采用高純陶瓷連接，這樣既可以耐高溫，也可以減少放氣量，有利于高真空獲得和數據的精準性!

　　探針臂采用優質304不銹鋼光軸，可以有效保證探針的水平準直度和變溫環境下的剛性，減少形變造成的不良影響。探針臂移動真空密封裝置，采用壓縮比達到1:6.5的焊接波紋管，壓縮壽命優于10萬次。保證探針臂行程的同時減少對探針座造成的負擔。

維意真空高低溫真空探針臺支持定制