HORIBA STEC SEC-N112MGM 數字式氣體質量流量控制器

產品簡介

HORIBA STEC SEC-N112MGM 是一款高精度數字式氣體質量流量控制器，專為半導體、光電、LED、燃料電池、功能玻璃、環境監測等行業設計。它采用熱式傳感技術，提供快速響應和高穩定性的氣體流量控制，廣泛應用于精密氣體流量調節和控制的要求。

該設備不僅具備快速響應和高精度控制功能，還提供多種氣體類型和量程的靈活配置，能夠滿足制造工藝和環境監測中的各種需求。無論在半導體制造、光電顯示，還是燃料電池研發中，SEC-N112MGM 都是優秀的設備。

主要特點

• 高精度流量控制
  在設定流量大于 25% 滿量程時，精度可達 ±1.0% 設定點；在設定流量小于等于 25% 滿量程時，精度可達 ±0.25% 滿量程。

• 快速響應時間
  響應時間（T98）不超過 1 秒，確保流量控制的快速調節和穩定性，適用于高要求的工作環境。

• 多氣體/多量程支持
  支持多種氣體類型和流量范圍，用戶可以根據實際需求靈活配置氣體流量控制器。

• 多種通信接口
  提供數字式 RS-485 F-NET 協議和模擬式 0～5VDC 輸出，方便與不同的自動化控制系統進行集成。

• 緊湊設計
  小巧的外形設計，適用于空間有限的安裝環境，方便在各類應用場景中使用。

技術規格

• 型號：SEC-N112MGM

• 流量范圍：從 10 SCCM 到 1000 SLM（具體取決于配置）

• 氣體類型：支持氮氣、氫氣、氧氣、氬氣、氨氣、氦氣、氯氣、氟氣等多種氣體

• 閥門類型：提供電磁閥和壓電陶瓷閥選項，適應不同流量需求

• 接口類型：標準接口為 1/4 SWL 類型，適合常規安裝需求

• 工作壓力：適用于 0～500 kPa 的工作壓力范圍

• 工作溫度：適用于 5～50℃ 的環境溫度范圍，確保設備穩定運行

應用領域

• 半導體制造
  精確控制氣體流量，滿足芯片制造過程中嚴格的流量調節需求。

• 光電顯示
  在液晶面板、OLED 顯示技術的制造過程中提供穩定氣體供應，確保生產過程的穩定性。

• LED 生產
  提供氣體流量調節，保證 LED 制程中的氣體供應精度，提升產品質量。

• 燃料電池
  在燃料電池研發與生產中，通過精準的流量控制提升效率和產品性能。

• 功能玻璃
  提供穩定的氣體流量環境，廣泛應用于功能玻璃的涂層和加工過程中。

• 環境監測
  支持環境保護工作，通過精準的氣體流量控制進行環境氣體采樣和分析。