HORIBA STEC SEC-Z514MGX 數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SEC-Z514MGX 是日本 HORIBA STEC 公司推出的一款高精度數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器，屬于 SEC-Z500X 系列。該系列產(chǎn)品采用熱式傳感技術(shù)，提供快速響應(yīng)和高穩(wěn)定性的氣體流量控制，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、LED、燃料電池、功能玻璃、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域。

主要特點(diǎn)

• 高精度流量控制：在設(shè)定流量大于 25% 滿量程時(shí)，精度可達(dá) ±1.0% 設(shè)定點(diǎn)；在設(shè)定流量小于等于 25% 滿量程時(shí)，精度可達(dá) ±0.25% 滿量程。

• 快速響應(yīng)時(shí)間：響應(yīng)時(shí)間（T98）不超過(guò) 1 秒，確保快速調(diào)節(jié)和穩(wěn)定控制。

• 多氣體/多量程支持：支持多種氣體類型和量程設(shè)置，用戶可根據(jù)需求靈活配置。

• 多種通信接口：提供數(shù)字式 RS-485 F-NET 協(xié)議和模擬式 0～5VDC 輸出，方便與不同系統(tǒng)集成。

• 緊湊設(shè)計(jì)：小巧的外形設(shè)計(jì)，適用于空間有限的安裝環(huán)境。

技術(shù)規(guī)格

• 型號(hào)：SEC-Z514MGX

• 流量范圍：根據(jù)具體配置，支持從 10 SCCM 到 1000 SLM 的流量范圍。

• 氣體類型：支持多種氣體，包括氮?dú)狻錃狻⒀鯕狻鍤狻睔狻⒑狻⒙葰狻⒎鷼獾取?/p>

• 閥門類型：提供電磁閥和壓電陶瓷閥選項(xiàng)，適用于不同流量需求。

• 接口類型：標(biāo)準(zhǔn)接口為 1/4 SWL 類型，滿足常規(guī)安裝需求。

• 工作壓力：適用于 0～500 kPa 的工作壓力范圍。

• 工作溫度：適用于 5～50℃ 的環(huán)境溫度范圍，確保設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行。

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體制造：用于氣體流量的精確控制，滿足芯片制造過(guò)程中的嚴(yán)格要求。

• 光電顯示：在液晶面板和 OLED 制造過(guò)程中，提供穩(wěn)定的氣體供應(yīng)和控制。

• LED 生產(chǎn)：用于 LED 制程中的氣體流量調(diào)節(jié)，確保產(chǎn)品質(zhì)量。

• 燃料電池：在燃料電池的研發(fā)和生產(chǎn)中，精確控制氣體流量，提高效率。

• 功能玻璃：用于功能玻璃的涂層和加工過(guò)程中，提供穩(wěn)定的氣體環(huán)境。

• 環(huán)境監(jiān)測(cè)：用于環(huán)境氣體的采樣和分析，支持環(huán)境保護(hù)工作。