智能制造網APP
智能制造網手機站
智能制造網小程序
智能制造網官微
智能制造網服務號
產品特點
? 數字式：RS485(Modbus-RTU)，RJ45接口更加快捷方便
? 體積小巧： 76*30*80MM
? 響應時間快：＜1秒
? 高精度： ±1.0%SP（>35%FS）；0.35%FS（≤ 35%FS）
? 氣體切換：N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2、CH4
? 量程切換：支持修改滿量程的30~99%
技術指標
傳感器類型 | 熱式繞線型 | |
適用氣體※1 | N2（氣體切換功能適用于 Air、H2、He、Ar、O2、CO2、CH4） | |
量程※2 | 10、30、50、100、300、500SCCM， 1、3、5、10SLPM | |
控制范圍 | 2~99%FS | |
響應時間 | ＜1S | |
精 度 | ± 1%SP（＞ 35%FS）；±0.35%FS（≤ 35%FS） | |
重 復 性 | ± 0.2%FS | |
動作壓差※3 | L型：50~149 KPa H型：150~300 KPa | |
入口壓力 | 500 Kpa（G） | |
耐壓 | 980 Kpa（G） | |
外部泄漏率 | ＜1.0x10-8pa*m3/sec（He） | |
溫度 | 允許環境溫度 | 5~50 ℃ |
精度保證溫度 | 15~35 ℃ | |
允許保存溫度 | -10~60 ℃ | |
允許環境濕度 | 10~90%RH（未冷凝） | |
接液材質 | SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼，PTFE，PCTFE，FKM | |
電氣連接 | DB9M（依據SEI標準） RJ-45模塊化插孔 X 2 | |
模擬流量設置信號 | 0~5V（輸入阻抗1MΩ以上）或4~20 mA（輸入阻抗250Ω以下） | |
模擬流量輸出信號 | 0~5V（最小負載電阻1MΩ以上）或4~20 mA（最小負載電阻250Ω以下） | |
數字通訊 | RS-485旋轉開關的地址設置（可選Modbus-RTU） | |
所需電源 | 24 VDC（±10%），300 mA以下 | |
過程接口 | 1/4" SWL（標準），可選1/8" SWL、1/4"VCRM、RC1/4"F | |
安裝方向 | 建議水平方向 | |
重 量 | 約500 g | |
尺寸（長*寬*高）※4 | 76*30*80 mm | |
注：
※1：干燥，不含腐蝕性成分以及灰塵的潔凈氣體 。沒有記載的氣體換算成N2, 細則請另外聯系銷售人員。
※2：流量校準單位SCCM、SLPM分別表示在0℃,1atm 時的體積流量，可使用專用軟件修改氣體種類及在指定的全量程（FS）的30～99%（僅C02，CH4為30~80%）之間修改全量程范圍。
※3：動作壓差可能會因規格不同而異。
※4：長度尺寸不包含接頭。
尺寸詳圖
