PI不僅開發和生產各種定位平臺和執行器,用于線性,旋轉和垂直運動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應客戶特定的應用或提供用于運動和定位的成品子系統。
德國PI P-612.2 XY壓電陶瓷納米定位系統
德國PI P-612.2 XY壓電陶瓷納米定位系統
P-612.2 XY壓電陶瓷納米定位系統
§ 結構緊湊:表面60毫米×60毫米
§ 100微米×100微米閉環行程(130微米×1 30微米,開環)
§ 用于成本關鍵型應用
§ 通孔尺寸20毫米×20毫米
§ 并聯運動實現更快的響應時間和更高的 多軸精度
§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命
§ 也可提供緊湊型版本
應用領域
§ 掃描顯微鏡
§ 高吞吐量顯微鏡
§ 超分辨率顯微鏡
§ 掩模/晶圓定位
§ 干涉測量
§ 測量技術
§ 生物技術
§ 顯微操縱
PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命
的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮,避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統 的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現*運行1000億個循環。
零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度
柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損,無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力,且它們對沖擊和振動不敏感。 它們*真空兼容,可在很廣的溫度范圍內工作。
訂購信息
P-612.20L XY
向納米定位系統,130微米 × 130微米,孔徑為20毫米 × 20毫米,開環
P-612.2SL XY
向納米定位系統,100微米 × 100微米,孔徑為20毫米 × 20毫米,應變片傳感器
德國PI P-612.2 XY壓電陶瓷納米定位系統