advantages
產品優勢
優勢明顯
速度快、穩定性好可掛載
可掛載到Semi標準EFFM機械接口上多兼容
兼容6寸和8寸晶圓和的開啟和關閉自動識別
自動識別盒內晶圓尺寸以及盒內各槽晶圓狀態內置多傳感器
內置晶圓滑出和卡塞錯位傳感器
Application areas
產品應用領域
晶圓裝載與檢測
parameter
產品參數
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動作對象
200mm Carrier
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移載重量
0.8kg (需要進行5kg配重提升三次測試)
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重復位置精度
±0.1mm
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片盒檢查
RFID讀取、微型光電傳感器、對射式光電傳感器
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材質
耐酸鋁+不銹鋼
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外形尺寸
815H*365W*425D（mm）
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本體重量
65kg
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工作臺
帶有片盒載荷傳感器
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可靠性
MTBF：17000h
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開盒時間
12.5s
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關盒時間
14s
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