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沈陽新松機器人自動化股份有限公司

立式爐Mini STK

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地沈陽市

更新時間：2025-01-17 07:52:55瀏覽次數(shù)：63次

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立式爐Mini STK應用于立式爐管設備前端，適用于FOUP的轉(zhuǎn)運 、暫存和開盒。

advantages

產(chǎn)品優(yōu)勢
  • 一體成型設計
    整機一體成型設計
  • 自主研發(fā)
    自主研發(fā)FTR機械手，適配多類型300mm FOUP
  • 搭載雙口開盒器
    后端搭載雙口開盒器（FIMS），實現(xiàn)Front N2 purge
  • 可選配
    可選配Shelf N2 purge

Application areas

產(chǎn)品應用領域
  • 氧化工藝立式爐管前端配套
  • 退火工藝立式爐管前端配套
  • LPCVD工藝立式爐管前端配套
  • ALD工藝立式爐管前端配套

parameter

產(chǎn)品參數(shù)
  • 外形尺寸

    1745×1100×3500（mm）

  • 工位數(shù)

    18

  • 負載

    ≤10kg

  • 重復位置精度

    ±0.1mm

  • 振動

    ≤0.3g

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