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青島佳鼎分析儀器有限公司
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SussMicroTecACS200是一種自動光刻膠涂層和烘烤站，具有盒到盒基底操作
Suss MicroTec ACS200 是一種自動光刻膠涂層和烘烤站，具有盒到盒基底操作。它支持在各種基材上旋涂和噴涂光刻膠。該工具提供完整的抗蝕劑涂層功能，包括高達 250 °C 的熱板烘烤和背面沖洗自動去除邊緣珠。
Gyrset 旋涂和 Alta 噴涂模塊。
250 °C 可編程加熱板。
自動去除邊緣珠和背面沖洗。
晶圓直徑：200 毫米（8 英寸）。
支持的小件：是的。
基材厚度：5 毫米。
支持的晶圓直徑：
50 毫米（2 英寸）。
75 毫米（3 英寸）。
100 毫米（4 英寸）。
150 毫米（6 英寸）。
200 毫米（8 英寸）。
支持的光掩模尺寸：
125 毫米 x 125 毫米。
150 毫米 x 150 毫米。
用于光學圖案曝光的光刻膠涂層。
用于掩模生產的光刻膠涂層。
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