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紫外曝光機

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更新時間：2023-06-15 12:56:19瀏覽次數：214次

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南京盈波光電科技有限公司

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產品簡介

詳細介紹

紫外曝光機

型號： MA6
廠家：德國Karl Süss公司

技術指標:
  曝光光源：UV1000
  光源波長：365nm
  光源均勻性：<3.1%
  晶片尺寸：2-6英寸
接觸方式：真空，低真空接觸, 硬接觸，  軟接觸和接近式接觸
對準模式：正和背面兩種對準方式
最小線寬：0.5 μm
對準精度:  ±0.5 μm
主要功能及應用范圍：
采用紫外光源，制作亞微米(最小線寬0.5 μm)的圖形。可用于各種微器件的制作和低維人工結構的形成，如制作下列器件結構：微電子器件，光電子器件，生物傳感器，微機電系統，超導電子學器件，磁電子學器件等，也是研究材料在低維度、小尺寸下量子行為的重要輔助工具。
主要附件: 涂膠機；HP8熱板；顯影機，光學顯微鏡

關鍵詞：紫外曝光機電子器件涂膠機顯影機光學顯微鏡

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