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三河建華高科有限責任公司
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更新時間：2023-06-16 16:45:24瀏覽次數：1306次
聯(lián)系我時，請告知來自 智能制造網該設備主要用于LED、MEMS、IC等行業(yè)標準晶圓勻膠、、顯影、預烘工藝
該設備主要用于LED、MEMS、IC等行業(yè)標準晶圓勻膠、、顯影、預烘工藝。
主要技術特點
采用星型布局形式，結構緊湊，效率高。
上/下片工位
鋁制標準晶圓片盒，不變形、易轉片。
雙臂機械手
選用進口多關節(jié)雙臂機械手，不僅具有較高的剛度、靈活性，而且傳輸速度快，定位精度高。
勻膠單元
勻膠腔采用進口PP材料制成，主軸電機采用進口定制的中空軸交流無刷伺服電機，保證旋轉轉速、加速度控制精度高，重復性、穩(wěn)定性好。
顯影單元
顯影腔特殊結構設計可實現廢液收集、氣流控制等功能，使顯影工藝條件達到。
冷/熱板單元
冷板/熱板單元是對晶圓進行預烘及冷卻處理，晶圓與盤體為非直接接觸方式，溫度穩(wěn)定、精度高。
主要技術指標
晶圓尺寸：4″、6″
機械手：1套
勻膠單元：2套
顯影單元：2套
主軸轉速：0～6000rpm，最小調整量：1rpm
轉速精度：±1rpm(50～5000rpm)
主軸加速度：100～20000rpm/sec
膠液數量：2路
背洗功能：可選
去邊功能：可選
光刻膠供給：精密膠泵
光刻膠供給量：1～10ml
光刻膠供給精度：±0.1ml
光刻膠粘度：≤1000Cp
光刻膠過濾：可選
顯影液數量：2路
噴嘴形式：柱狀或H型
供液方式：不銹鋼壓力罐
背洗功能：有（純水）
熱板數量：≤9套
溫度范圍：室溫～180℃
最小調整量：0.1℃
加熱方式：云母加熱片加熱
溫度均勻性：±1℃@50℃～120℃、±2℃@120.1℃～180℃
增粘模塊：可選
冷板數量：≤3套
冷卻方式：廠務冷卻水循環(huán)冷卻
水溫范圍：18℃～30℃
外形尺寸：L1950mm×W1700mm×H1900mm
重量：1800Kg
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