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廣東海圣科技有限公司
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產品詳細介紹詳細參數內容規格A.一般規格曝光系統光源：Hg-Xe短弧燈
| 內容 | 規格 | |
| A.一般規格 | ||
| 曝光系統 | 光源：Hg-Xe短弧燈，輸出功率5KW，雙燈 | |
| 平行半角（CHA）：2° 傾斜角（DA）：2° | ||
| 均勻度：≥85%（min/max） 強度：20mw/cm²（玻璃上） | ||
| 有效曝光面積：546*622mm | ||
| Panel規格 | 尺寸：254*304.8mm至558.8*635mm(10''*12"至22"*25") | |
| 厚度：0.05mm(不含銅)至2.0mm | ||
| 玻璃尺寸 | 上：L800*W718*8t 下：L709*W621*8t | |
| PCB靠操作面中間對位 | ||
| 曝光作業 | 雙面曝光/內層板用底片CCD自動對位系統，每片確認。對準精度±10um | |
| 底片尺寸 | 24"*27" Cycle Time:機械動作12秒+吸真空延遲+曝光時間 | |
| 密合模式 | 真空密合，真空度-300~-500mmHg(附表顯示) | |
| 操作方式 | 操作系統：PC系統+PLC+人機界面 | |
| 機臺尺寸 | 外部尺寸：L 2900mm*W 2430mm*H 2190mm | |
| 輸送面高度：1120mm+30mm | ||
| 公用系統 | 電力：AC380V 3φ 50Hz 60A 13KVA | |
| 氣壓源：>6Kg/cm2 | ||
| B.系統架構 | ||
| Panel傳送系統 | 進出料傳動：滾輪帶動 | |
| 薄板專用機構：進出料Roller間加入支撐板 | ||
| 進料定位：二段式靠邊定位，前緣利用滾輪慢速傳動定位 | ||
| 曝光室進出移載：以伺服馬達帶動移載機 | ||
| 移載機取置：氣缸帶動取置架上下，真空吸盤移載機裝置氣缸 | ||
| 帶動取置架上下，真空吸盤組依板寬手動調整 | ||
| 曝光臺框 | 玻璃對玻璃方式采用高UV透光率玻璃 | |
| 上臺框由伺服馬達帶動開關，上下框間由四支定位銷定位 | ||
| 底片吸附在臺面真空槽，PCB以下臺框真空吸附 | ||
| 靜電消除 | 于進料段裝置上下靜電消除棒 | |
| 冷卻 | 燈室冷卻：氣冷（內循環） | |
| 曝光室冷卻：氣冷，抽取室內空氣經HEPA吹入曝光室 | ||
| 潔凈控制 | 客戶潔凈室等級需求：Class 10000 | |
| 機臺使用99.97%~99.99%HEPA Filter | ||
| UV光源監控 | ||
| 遮光器：水平移動，裝置在燈室外，由氣缸帶動 | ||
| 曝光計算：內建UV能量積算器，可依能量或時間曝光 | ||
| 對位方式 | 4靶標CCD影像對位 | |
| 底片固定 | 臺面玻璃 溝槽吸真空 | |
| 調整機構 | 微步進馬達驅動上臺框微調機構 | |
| 控制方式 | 自動對位及觸控式熒幕PC+PLC | |
| 視覺光源 | LED式CCD背光組 | |
| 底片對位精度 | ±10μm內(不含漲縮) | |
| 備注 | 外觀采SUS材質 | |
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