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廣東海圣科技有限公司
產品詳細介紹詳細參數ITEMSPECIFICATIONLightsourceandexposuremethodShort-arcmercuryxenonLamp
ITEM | SPECIFICATION | |
Light source and exposure method | Short-arc mercury xenon Lamp,single lamp,double-side exposal | 短弧汞氙燈,單燈,上面曝光 |
Light | Collimated light | 平行光源 |
Interface | Chinese/English+color touch screen | 中文+彩色觸控屏幕 |
Panel size | 400*500mm | 產品尺寸400*500mm(可根據客戶要求定制) |
Resist | Dry film | 感光劑形態:干膜 |
Energy | 30mw/c㎡ | 曝光面未經過玻璃初始照度 |
Uniformity | >90% | 照度分布均勻性 |
Cleanroom | Class 1,000 | 無塵室等級要求 |
Collimation | θc/2<2º | 平行半角 |
Declination | θd<1.5º | 傾斜角 |
Wavelength | 365nm | 燈管波長 |
Exposure tray | Glass vs Metal | 玻璃/鋁合金金屬平臺 |
Frame vacuum | Adjustable between 0~-500mm Hg | 玻璃間真空強度設定可調整范圍 |
Vacuum control | Time delay settable | 真空控制方式具備時間延遲設定功能 |
System | PLC | PLC可程式控制器 |
Exposal control | Automatic testing of light strength,automatic product control of light energy | 自動感測光強,自動計量控制光能源 |
Specification | Error message with Error code | 異常顯示及訊息代碼顯示 |
Length*Width*Height | 2760*1120*2000mm | 機器長度/機器寬度/機器高度 |
Electrical | 380V 50Hz 3? 12KVA | 電源需求 |
Air source | 5kg/c㎡,¢12mm | 空壓需求 |
Cooling | 7-12℃,20L/min,1" pipe | 冰水需求 |
機器制作材料:外殼SUS430不銹鋼 |
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