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廣東海圣科技有限公司
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| 項次 | 內容 | 規格 |
| 1 | 電源 | AC380V 3φ 50HZ 11KVA |
| 2 | 機臺外尺寸 | W1340*L2100*H1800mm |
| 3 | 有效曝光面積 | 610mm*740mm |
| 4 | 曝光臺面 | MYLAR VS玻璃 × ２組，采電磁鎖控制 |
| 5 | 燈管 | ５KW × ２PCS(高壓水銀燈) |
| 6 | 曝光均勻度 | ８０％以上 |
| 7 | 燈管冷卻系統 | 循環直接水冷式 (水套式) |
| 8 | 臺面冷卻方式 | 強制氣冷式 |
| 9 | 使用環境條件 | 室溫 25℃±3℃，濕度 55%±5%之清潔環境 |
| 10 | 曝光控制器 | 智能型人機接口式，曝光能量控制系統 |
| 11 | 客戶提供外圍配合 設備 | (1). 3 噸冷卻水塔，循環水管出入口管徑 3/4"配管 |
| (2). 11KVA電力系統，NFB規格為 1φ 75A | ||
| (3). 蒸餾水 60L | ||
| 12 | 特點 | (1). LCD智能型中(英)文能量強度顯示，高頻率取樣控制系統 |
| (2). 曝光臺面采電磁鎖控制方式。方便精準。 | ||
| (3). 上、下框／燈，均可獨立能量設定。 | ||
| (4). 中(英)文版故障異常檢知顯示系統，方便操作使用。 | ||
| 13 | 配備 | 入水口加裝1只溫控器及電磁閥 |
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