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TP專用視覺對位平行光曝光機

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產品型號UVE-HSPTP5K/8K

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更新時間：2023-06-19 15:13:54瀏覽次數：153次

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廣東海圣科技有限公司

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產品簡介

詳細介紹

項目	主要規格
曝光方式	單燈單面曝光（上面）、平行光源
有效照射面積	400410mm/400500mm/450550mm/550650mm/620*750mm（可根據客戶需求定制）
強度均勻性	均勻度≥90%
平行半形	≤2.0º
傾斜角	≤1.5º
解析度	L/S 10μm(玻璃菲林)
光強控制	能量光強≥45 mw/cm²(8kw) 能量光強≥30mw/cm²(5kw)
光強波長	中心波長365um管理波長300-450um
燈管規格	5KW or 8KW or 10KW汞燈（平行光曝光燈）
燈管部份	保用1000小時、在1000小時內燈管能量衰減小于等于30%
機器規格	280012002200MM（長寬高）參考尺寸
環控柜規格	280012002200MM（長寬高）參考尺寸
機器外觀	不銹鋼鏡面板
CCD選擇	4CCD 品牌：WATEC（日本）
重復對位精度	±5um
接觸方式	近似接觸，（軸位置檢測），保留吸真空曝光模式
冷卻方式	燈室內回圈方式冷卻，工作臺采用1000級過濾空氣冷卻，風量可調
曝光控制方式	時間和能量兩種方式
曝光環境	溫度：22+/-1℃ 溫度：55%+/-5
人機界面	觸控式熒幕顯示器
冰水需求	30L/min壓力2KG水溫≤12º1英寸配管
壓縮空氣需求	流量：30L/min ψ8mm 5.5KG/CM2以上
電力需求	三相五線380VAC,3ψ50HZ, 40A
工作平臺	X,Y,Y自動微調平臺（臺制）
電控裝置	PC+PLC