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蘇州芯矽電子科技有限公司


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全自動boe濕法清洗機 芯矽科技

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參   考   價: ￥ 10000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌其他品牌

廠商性質生產商

所  在  地蘇州市

聯系方式：陳經理查看聯系方式

更新時間：2025-06-11 11:12:42瀏覽次數：23次

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經營模式：生產廠家

商鋪產品：53條

所在地區：江蘇蘇州市

聯系人：陳經理 （經理）

產品簡介
非標定制 根據客戶需求定制    

全自動BOE濕法清洗機專為半導體晶圓氧化層精準蝕刻設計，采用緩沖氧化物刻蝕液（BOE，HF/NH?F體系）實現SiO?、SiN?等材料的選擇性去除。設備集成PLC控制系統，支持溫度、時間及噴淋/浸泡模式精確調節，確保深孔、高深寬比結構（如3D NAND）的均勻蝕刻。封閉式腔體與PFA耐腐蝕涂層避免污染，單晶圓傳輸系統減少交叉污染風險?？蛇x配廢液中和回收模塊，符合環保要求。

詳細介紹

全自動BOE濕法清洗機是一款專為半導體晶圓制造設計的濕法制程設備，集成化學刻蝕、精密清洗及自動化控制技術，適用于硅片、晶圓的氧化層去除、光刻膠剝離及污染物清洗等關鍵工藝。以下是其核心功能與技術特點的詳細介紹：

一、核心功能與工藝原理

BOE刻蝕技術

采用緩沖氧化物刻蝕液（BOE，HF/NH?F體系），精準去除SiO?、SiN?等材料，避免對硅基底的過度損傷，適用于淺槽隔離（STI）、柵極氧化層蝕刻等場景。

支持多配方兼容（如SPM、SC-1、DHF），可定制化學溶液濃度與溫度（±0.5℃），滿足不同制程需求。

高效清洗能力

通過噴淋、浸泡及兆聲波（高頻超聲波）協同作用，去除晶圓表面顆粒、金屬污染及有機物殘留，對≥25nm顆粒的去除效率＞99%

可選配IPA蒸氣干燥模塊，實現無水漬殘留的超潔凈表面處理。

二、設備結構與技術優勢

自動化系統

機械手傳輸：伺服驅動機械臂精準抓取晶圓，支持6-12英寸晶圓單片處理，定位精度±0.1mm，避免交叉污染。

PLC智能控制：預設多段工藝程序（如預洗→主刻→漂洗→干燥），支持參數實時監控與數據追溯，適配工業4.0互聯需求。

耐腐蝕設計與環保性

材質：槽體采用PFA、石英或PTFE涂層，抗HF、BOE等強腐蝕性藥液，延長設備壽命。

廢液處理：內置UF/MF膜過濾系統，藥液回收率＞80%，廢液分類中和，符合RoHS環保標準。

高產能與穩定性

單片處理時間＜5分鐘（含干燥），兼容多晶圓批次處理（如50片/批），提升產線效率。

封閉式腔體設計，防止揮發性氣體外泄，確保操作安全與工藝穩定性。

三、應用場景與適配領域

半導體制造

光刻膠剝離后清洗、柵極氧化層蝕刻、TSV（硅通孔）三維封裝前處理等。

適用于制程（如FinFET、GAA架構）對深孔、高深寬比結構的精密清洗需求。

其他領域

第三代半導體（SiC、GaN）器件清洗、LED芯片制造、MEMS器件加工等。

四、定制化服務與技術支持

靈活配置：根據客戶需求定制槽體尺寸、機械臂數量及藥液系統（如添加臭氧消毒模塊）。

售后服務：提供工藝調試、耗材供應（如PFA槽體、過濾器）及終身維護支持，保障設備長期穩定運行。

全自動BOE濕法清洗機以高精度刻蝕、高效清洗及智能化控制為核心，結合環保設計與廣泛工藝兼容性，成為半導體制造中的關鍵設備，尤其適用于節點芯片的高性能清洗需求。


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