機器視覺是機器(通常指數字計算機)對圖像進行自動處理并報告“圖像中有什么”的過程，也就是說它識別圖像中的內容。

機器視覺系統一般以計算機為中心，主要由視覺傳感器、高速圖像采集系統及圖像處理系統等模塊構成。

晶圓級濾光片檢測的基本原理

晶圓級濾光片中的各種雜質，在光學特性上必然與晶圓級濾光片本身有差異。當光線入射晶圓級濾光片后，各種雜質會在反射、折射等方面表現出與周圍晶圓級濾光片不同的異樣。例如，當均勻光垂直入射晶圓級濾光片時，如晶圓級濾光片中沒有雜質，出射的方向不會發生改變，所探測到的光也是均勻的；當晶圓級濾光片中含有雜質時，出射的光線就會發生變化，所探測到的圖像也要隨之改變。由于雜質的存在，在其周圍就發生了應力集中及變形，在圖像中也容易觀察。若遇到光透射型缺陷（如裂紋、氣泡等），光線在該缺陷位置會發生折射，光的強度比周圍的要大，因而相機靶面上探測到的光也相應增強；若遇到光吸收型（如砂粒等）雜質，則該缺陷位置的光會變弱，相機靶面上探測到的光比周圍的光要弱。分析相機采集到的圖像信號的強弱變化、圖像特征，便能獲取相應的缺陷信息。

晶圓級濾光片檢測設備簡介

IR-Cut filter表面缺陷自動化檢測設備是基于晶圓級濾光片產品的生產現狀，對現有勞動力密集的人工品質檢測工藝環節進行自動化改造，通過研究設計一款晶圓級濾光片表面品質自動化檢測和分揀設備來替代人工檢測。本項目研發設計內容主要由表面缺陷自動識別系統設計、物流傳送系統及聯動控制設計，正次品分揀機械手設計等三個部分組成。

通過該設備的成功實施預期能實現晶圓級濾光片表面品質缺陷特征的自動識別、正次品自動分揀、檢測精度達到10微米、檢測速度到180片/分鐘的目標。

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