一、流延成型線結構
　　流延成型線結構主要由基板傳動線、流延機構、滑塊機構、烘箱設備、冷卻設備組成。
　　基板傳送線：把處理后的基板傳送到烘干設備和冷卻設備。
　　滑塊機構：滑塊機構是用真空吸盤吸住基板從送板處平穩地以一定速度把基板運送到接板處的結構。
　　流延設備、烘干設備、冷卻設備的控制與基板傳送線、滑塊機構的控制分開單獨控制。
　　二、流延工藝原理
　　基板傳送線在系統啟動后一直運行，流延設備、烘干設備、冷卻設備等在系統啟動后獨立工作。
　　當基板在傳送線上傳送到送板處，來板傳感器感應到有板信號，延時后旋轉汽缸旋轉擺臂抬起到水平位置，真空發生器開啟，當真空感應開關感應到壓力吸盤壓力降到設定值，且接板處基板已離去，滑塊按預設運動曲線運動到終點，真空發生器關閉，吸盤松開，擺臂回到原始位置，然后滑塊后退到起始點等待，如送板處感應到基板信號，滑塊循環執行下一運動過程。
　　三、控制系統簡介
　　1.基板傳送線采用4臺三菱E520系列變頻器拖動普通三相異步電機控制輥道運行速度。各段輥道速度通過控制柜上的變頻器操作面板進行設定。
　　2.滑塊機構控制系統硬件結構：
　　F940GOT+FX1N-24MT+MR-J2S-100A+HC-SFS102
　　3.滑塊機構控制系統軟件設計：
　　（1） HMI的設計：
　　HMI有運行控制、參數設置、輸入監測、輸出監控、報警顯示等畫面。
　　運行控制頁面：可進行滑塊系統自動運行和手動運行控制。
　　參數輸入頁面：可對當前移動的基板數量進行統計。
　　輸入監測頁面：可對輸入信號實時顯示。
　　輸出監測頁面：可對輸出信號實時監控。
　　報警顯示頁面：報警發生時，相應的報警信息頁面自動彈出，當報警故 障排除時，報警頁面消失，回到運行頁面。
　　（2）PLC的程序設計思路：
　　三菱FX1N系列PLC有兩個脈沖元件Y0、Y1，可輸出zui大100KHz的脈沖。同時使用脈沖指令PLSR或PLSV，在Y0和Y1輸出端得到各自獨立的脈沖輸出。輸出脈沖可用于控制驅動步進電機或伺服電機。
　　FX1N系列PLC的PLSY、PLSR、DRVI、DRVA 等指令有脈沖輸出功能，定位位置可由輸出脈沖數進行定位控制。
　　在位置控制中電機的啟動和停止可由外部開關信號進行控制，但外部開關信號的處理有響應延時，實際停止位置和指令脈沖的目標位置有偏差，速度快時，位置偏差大，速度慢時，位置偏差小。
　　在該系統中，由于滑塊的運行頻率較高，而客戶在機械設計時沒有考慮原點開關的安裝，只裝了左右兩個限位開關，故系統的積累誤差的消除必須靠限位開關來進行處理，程序設計中用兩個限位開關啟動或停止脈沖輸出指令的執行，從而控制伺服電機的定位。
　　在本系統中，每次開機運行之前必須系統回零。下面是滑塊機構運動的程序，客戶要求滑塊運動距離可以微調，即終點可以通過限位開關微調，所以程序中設定滑塊從起始點先高速運動到一確定位置，然后再低速爬行到終點。調節位置和低速速度保證精度。
　　流延成型線是在電子元器件制造行業中一種很重要的工藝設備，它對控制系統的可靠性、安全性及故障處理等方面的要求很嚴格，控制系統同時有速度和位置控制方面的要求。我們開發的由三菱FX1N系列PLC、MR-J2S伺服系統、E520變頻器組成的控制系統很好地滿足了流延成型線的工藝要求。