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雷尼紹推新款1nm分辨率增量式光柵

2013年04月26日 17:06:49人氣:1501來源:

  工控摘要:雷尼紹是測量和光柵技術的者,其成功的TONiC™增量式光柵產品系列現已推出全新的1nm和2nm分辨率選項。
  
  直線光柵和圓光柵的全新高分辨率選項,包括標準TONiC讀數頭和新型Ti20KD(1nm)或Ti10KD(2nm)接口;接口采用高細分率,可達到更高的分辨率。此外,TONiC采用優異的光度測量的低噪聲光學設計與Ti20KD/Ti10KD接口內的濾波功能相結合,將抖動(報告位置上的噪聲)降至0.51nmRMS的超低水平。
  
  位置穩定性顯著增強
  
  由于抖動降低、分辨率提升,TONiC™增量式光柵的位置穩定性和低速速度控制均顯著增強。這是對所有TONiC讀數頭的標配動態信號調節功能優勢的有力補充。
  
  因此,1nm和2nmTONiC增量式光柵具有20微米柵距光柵的所有優點,例如設定簡單、堅固性*和優異的抗污能力等,而且分辨率和噪聲水平可與柵距更小的光柵媲美。
  
  提供各種直線光柵和圓光柵
  
  TONiC直線光柵提供廣泛的柵尺選項。RGSZ是廣泛使用的雷尼紹鍍金鋼帶柵尺中的新款,具有內置IN-TRAC™光學參考零位。RSLM因鋼柵尺在長度達到1130mm時,熱膨脹系數為“零”,精度為±1µm。為了在長軸上實現高性能和顯著高于玻璃光柵尺的堅固性,可采用RSLM不銹鋼柵尺,它在5m長度上總體精度達到±4µm。zui高可提供10m的長度規格。此外,為實現更快捷方便的安裝,新型FASTRACK™直線光柵尺系統配備輕薄小巧的RTLC鋼帶柵尺,精度達±5µm/m。
  
  同時也提供廣泛的圓光柵選項。RESR圓光柵具有直徑范圍從52mm到550mm的標準尺寸和更大尺寸。如需更高性能,可采用超高精度REXM圓光柵,它與雙讀數頭配合使用時,在大于100mm的圓環直徑上具有優于1角秒的總體安裝精度。
  
  接口按其細分系數命名:Ti20KD是指20k數字細分電路(正交后),等于1nm分辨率。
  
  與所有雷尼紹光柵一樣,TONiC增量式光柵也由一個團隊支持,提供真正快捷的化服務。此外,該產品符合zui高的環境標準,即WEEE和RoHS的要求。
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