GTAdvancedTechnologies日前推出其新型SiClone100碳化硅(SiC)生產爐。SiClone100采用升華生長技術,能生產出高品質的半導體SiC晶體塊,可zui終制成zui大直徑為100毫米的芯片。在其初步階段,SiClone100主要針對本身已經擁有熱場、合格的晶體塊生產配方及正準備開始量產的客戶。
GT的總裁兼執行官TomGutierrez表示:“GT新推出的SiClone100爐將解決電力電子行業對更高品質SiC材料的需求,這些材料將用于生產*的高功率及高頻設備。SiClone100為我們的SiC產品藍圖奠定堅實基礎,根據藍圖我們預計在未來向客戶提供可生產八英寸SiC芯片的完整生產環境,包括配方、熱場及耗材。”
GT利用其在晶體生長技術領域深入的專業知識,為正在尋求“從實驗室向工廠轉化”的客戶提供高度可靠及經驗證的平臺,幫助客戶開始量產SiC晶體塊。SiClone100爐裝備有的控制系統,通過將爐電子與人機界面(HMI)相結合,實現生長過程的自動化。SiClone100采用底部灌裝設計,從而令熱場灌裝變得簡單??刂葡到y為用戶帶來更大的靈活性,用戶可根據需要制定過程配方及控制生產參數,例如溫度、剖面、斜度及氣流,從而改善持續運行的控制重復性,zui終降低制造成本。GT的現場工程師及支援團隊將幫助客戶快速啟動量產。
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