表面粗糙度標準的提出和發展與工業生產技術的發展密切相關，它經歷了由定性評定到定量評定兩個階段。表面粗糙度對機器零件表面性能的影響從1918年開始首先受到注意，在飛機和飛機發動機設計中，由于要求用zui少材料達到zui大的強度，人們開始對加工表面的刀痕和刮痕對疲勞強度的影響加以研究。但由于測量困難，當時沒有定量數值上的評定要求，只是根據目測感覺來確定。在20世紀20～30年代，世界上很多工業國家廣泛采用三角符號▽的組合來表示不同精度的加工表面。 
為研究表面粗糙度對零件性能的影響和度量表面微觀不平度的需要，從20年代末到30年代，德國、美國和英國等國的一些專家設計制作了輪廓記錄儀、輪廓儀，同時也產生出了光切式顯微鏡和干涉顯微鏡等用光學方法來測量表面微觀不平度的儀器，給從數值上定量評定表面粗糙度創造了條件。從30年代起，已對表面粗糙度定量評定參數進行了研究，如美國的Abbott就提出了用距表面輪廓峰頂的深度和支承長度率曲線來表征表面粗糙度。1936年出版了Schmaltz論述表面粗糙度的專著，對表面粗糙度的評定參數和數值的標準化提出了建議。但粗糙度評定參數及其數值的使用，真正成為一個被廣泛接受的標準還是從40年代各國相應的國家標準發布以后開始的。 
首先是美國在1940年發布了ASA B46.1國家標準，之后又經過幾次修訂，成為現行標準ANSI/ASME B46.1-1988《表面結構表面粗糙度、表面波紋度和加工紋理》，該標準采用中線制，并將Ra作為主參數；接著前蘇聯在1945年發布了GOCT2789-1945《表面光潔度、表面微觀幾何形狀、分級和表示法》國家標準，而后經過了3次修訂成為GOCT2789-1973《表面粗糙度參數和特征》，該標準也采用中線制，并規定了包括輪廓均方根偏差即現在的Rq在內的6個評定參數及其相應的參數值。另外，其它工業發達國家的標準大多是在50年代制定的，如聯邦德國在1952年2月發布了DIN4760和DIN4762有關表面粗糙度的評定參數和術語等方面的標準等。

粗糙度儀的應用
表面質量的特性是零件zui重要的特性之一，在計量科學中表面質量的檢測具有重要的地位。以前人們是用標準樣件或樣塊，通過肉眼觀察或用手觸摸，對表面粗糙度做出定性的綜合評定。目前粗糙度儀主要涉及的行業領域有：
一、非金屬加工制造業，隨著科技的進步與發展，越來越多的新型材料應用到加工工藝上，如陶瓷、塑料、聚乙烯，等等，現在有些軸承就是用特殊陶瓷材料加工制作的，還有泵閥等是利用聚乙烯材料加工制成的。這些材料質地堅硬，某些應用可以替代金屬材料制作工件，在生產加工過程中也需要檢測其表面粗糙度。
二、機械加工制造業，主要是金屬加工制造。粗糙度儀zui初的產生就是為了檢測機械加工零件表面粗糙度而生的。尤其是觸針式粗糙度測量儀比較適用于質地比較堅硬的金屬表面的檢測。如：汽車零配件加工制造業、機械零部件加工制造業，等等。這些加工制造行業只要涉及到工件表面質量的，對于粗糙度儀的檢測應用是*的。
三、隨著粗糙度儀的技術和功能不斷加強和完善，以及深入的推廣和應用，越來越多的行業被發現會需求粗糙度的檢測，除機械加工制造外，電力、通訊、電子、，如交換機上聯軸器、集成電路半導體等生產加工過程中也需粗糙度的評定，甚至人們生活中使用的文具、餐具、人的牙齒表面都要用到表面粗糙度的檢驗。
下面根據粗糙度儀的具體使用對其應用行業進行細分：
1、 汽車制造及零配件加工
2、 機械零部件加工及傳動裝置
機械零部件包括：軸承、緊固件、沖壓件、螺套螺栓、齒輪齒條、凸輪系統、聯軸器、離合器、液壓機具、減速機、微特電機、調速電動機。
3、 金屬加工設備及機床附件、功能部件
金屬加工設備包括：車床、銑床、鉆床、磨床、沖床、鋸床、電火花加工機、線切割機、激光加工機、倒角機、快速成型機、臥軸短臺、數控強力、成形系列、自動攻絲機、鉆孔攻絲復合機、衍磨機、雕刻機、試驗機、試驗機。
4、工藝裝備
硬質合金刀具、齒輪加工刀具、螺紋加工刀具、刀具系統、陶瓷刀具、磨具、研具、刃磨機、耐磨件、夾具、氣動夾具、液壓夾具、模具標準件、模具材料、電動/氣動工具、手動工具。
5、 通用機械及金屬成形設備
起重設備、空氣壓縮機、閥門、泵、風機、制冷設備、滾絲機、冷軋機、打標機、鉚接機、拉絲機、金屬制品。
6、 表面工程處理
7、 冶金冶煉、軋制及鍛壓設備
冷軋薄板、鍍錫原板、鋁合金型材、不銹鋼板、冷滾軋工件、軋制軋輥(制成銅片、鋁片)、冷硬鑄鐵鏡面輥、壓延輥。
8、 氣動、液壓元器件及壓力容器
9、 模具鑄造、精密制造
塑料模具、沖壓模具、蓋體模具、壓鑄模具、熔煉設備、鑄造設備、鐵、鋁鑄件、有色金屬型砂鑄造件、碳鋼鑄件、不銹鋼鑄件、合金鋼鑄件、精密鑄造件。
10、印刷、包裝、輕工、紡織機械及醫療器械
11、石油、化工、煤炭、水泥機械及農業機械
12、糧油、食品、啤酒機械及制藥機械
13、電力、電控及電子通信設備
14、航空航天、*單位
15、大專院校、科研單位
16、造紙行業
17、工業陶瓷、壓電陶瓷、電瓷、陶瓷脂、烤瓷、磨砂、高鋁質陶瓷輥棒
18、橡膠、環氧樹脂、聚乙烯
19、流體導管、復合玻纖溫消音風管
20、水晶晶體、炭化硅、石墨、金剛石膜、磁石
21、合金門窗、門柄、座椅部件、不銹鋼杯不銹鋼餐具表面、水表面
22、鍍鎘電池、望遠鏡筒
23、銅箔文具、中鎳白銅筆頭、硬質合金球珠、球座體、自動鉛筆芯
24、醫療護理
25、服飾制造器械