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微機(jī)械振動(dòng)傳感器是利用微機(jī)械(MEMS)加工技術(shù)實(shí)現(xiàn)的振動(dòng)傳感器,通過(guò)電容檢測(cè)將振動(dòng)的加速度信號(hào)轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)輸出,可配以相應(yīng)的數(shù)字采集器或其它記錄系統(tǒng)。
廣泛地應(yīng)用于各種工業(yè)環(huán)境,可以測(cè)量各種振動(dòng),如位移,速度,加速度等。測(cè)量機(jī)器的振動(dòng)并提供信號(hào),輸送給監(jiān)測(cè)儀表,用來(lái)對(duì)機(jī)械故障進(jìn)行測(cè)量;用于工程測(cè)振、環(huán)境監(jiān)視、地質(zhì)勘探、鐵路、橋梁、大壩的振動(dòng)測(cè)試與分析;玩具、結(jié)構(gòu)物、手柄振動(dòng)和搖晃,儀器儀表,汽車(chē)制動(dòng)啟動(dòng)檢測(cè);高層建筑結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性、脈動(dòng)試驗(yàn)與測(cè)量;也可用于安全保衛(wèi)振動(dòng)偵察。
微機(jī)械振動(dòng)傳感器設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔,主要技術(shù)參數(shù)一致性好,穩(wěn)定,體積小,重量輕,具有防水功能,不需要日常維護(hù)。
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