在半導體生產的后期階段,拿放晶片的速度和精度在整個制造過程中起到關鍵作用。在半導體機器的設計和設置階段,zui重要的因素是在機器和軟件結構之內選擇硬件組件。硬件組件的質量影響機器的整個運行,并且軟件必須具有強大的集成能力,以應對機器的復雜性。
根據這些要求,我們需要一組產品來構建大容量、高速、穩定的復雜系統。在評估若干選項之后,我們與NI展開了合作,因為NI LabVIEW系統設計軟件在業界以高集成度而著稱,適合各種測量和控制系統。另外,通過LabVIEW Real-Time模塊,我們還可以在高精度應用場合使用NI CompactRIO控制器。
首先,我們使用NI cRIO-9074控制器,Panasonic電動機和LabVIEW FPGA模塊編寫比較復雜的運動程序。在一年之內,我們就完成了滿足客戶要求的*臺拿放機。
憑借此經驗,我們提高了開發第二代拿放機的效率。新機器使用NI cRIO-9068控制器配合Kollmorgen AKD無刷伺服電機驅動。控制器內置LabVIEW NI SoftMotion模塊,實現我們此前用FPGA編程完成的低電平運動控制。這樣,我們能夠更加專注于應用程序,我們只用了兩個星期就開發出新機器——與此前的一年開發過程相比,這是明顯的提高。
整個結構挑戰性的部分是在實時目標與PC機之間傳輸實時數據以及分析數據。我們利用完善的LabVIEW庫并通過與NI工程師們合作研發完成了這一任務。
在拿放機運行期間,實現機器視覺與伺服運動控制系統之間的一體化也是非常重要的。如果我們不在設計期間考慮拿放過程的同步,那么晶片可能會在操作中損壞。因此,控制器和電機伺服的速度、精度和分辨率均將影響機器的效能。cRIO-9068和Kollmorgen驅動提供了半導體機器所需要的快速響應。與以前的機器相比,響應時間明顯加快,同時沒有以整個系統的穩定性、堅固性和實時處理速度為代價。我們所用的平臺使我們能夠真正使用卓有成效的軟件環境來重新配置系統硬件,這是cRIO-9068等軟件設計控制器的主要組件之一。
我們相信:通過使用集成NI硬件和軟件平臺,我們將能夠繼續開發出更快、更好的機器制造解決方案,為業界客戶提供功能更加全面的半導體機器。
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