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光譜共焦傳感器是一種精度可達次微納米量級的非接觸式位移量測系統(tǒng),可測量漫反射/鏡面反射及透明多層材質的位移,厚度,也適合深孔/盲孔工件等運用。
光譜共焦傳感器特點:
1非接觸式光學共焦測量技術, 具有超高分辨率及同光軸回傳訊號不會被遮擋之特性
2光纖傳輸彩色編碼測頭設計, 其結構輕巧且內部不含電子零件而不受環(huán)境干擾影響
3採用白光(可見光)光源系統(tǒng), 相較激光光源而言安全防護要求低
4獨特多層材質量測演算法, 可量測透明/半透明多層材質間之厚度或間隙
光譜共焦傳感器/光譜共焦
優(yōu)勢:
1 穩(wěn)定量測各類材質, 例如金屬/陶瓷/鏡面/玻璃等
2 適用於各種工件形貌(包含深孔/斜面/弧面)之特徵尺寸量測, 例如高度/段差/厚度/平面度/輪廓度等
3 高溫高壓等嚴苛操作條件下亦能適應正常使用
光譜共焦傳感器與普通激光位移傳感器區(qū)別
光譜共焦位移傳感器采用白光作為測量介質,而激光位移傳感器采用的是激光。從原理來講,光譜共焦位移傳感器可以直接照射被測物體,由于白色混合光包含各個顏色的光譜,且在透鏡下會產生色散效應,距離探頭遠近不同,反射回來的光顏色會不一樣。zui遠端是紅色,zui近端是紫色。傳感器靠區(qū)分反射光的顏色就可以知道被測物體距離探頭的遠近距離了。
激光位移傳感器有幾種,包括三角反射式的,脈沖時間差式的,還有相位差式的。
總的來講光譜共焦位移傳感器精度更高,光斑更小,測量更精細,但價格更貴且調節(jié)起來有一定技術含量。普通激光位移傳感器已經應用的非常普遍了。
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