高敏度高精度振動傳感器，采用壓阻式、壓電式和電容式工作原理，產生的加速度正比于電阻、電壓和電容的變化，通過相應的放大和濾波電路進行采集。這個和普通的加速度傳感器是基于同樣的原理，所以在一定的技術上三個單軸就可以變成一個三軸。對于多數的傳感器應用來看，兩軸的加速度傳感器已經能滿足多數應用。但是有些方面的應用還是集中在三軸加速度傳感器中例如在數采設備，貴重資產監測，碰撞監測，測量建筑物振動,風機,風力渦輪機和其他敏感的大型結構振動。三軸高靈敏度加速度傳感器的好處就是在預先不知道物體運動方向的場合下，只有應用三維加速度傳感器來檢測加速度信號。三維加速度傳感器具有體積小和重量輕特點，可以測量空間加速度，能夠全面準確反映物體的運動性質。

高靈敏度加速度傳感器具有優良的穩定性，可靠性和抗干能力。普通加速度傳感器通常需要在標準振動臺上進行標定，給使用帶來不便。高靈敏度加速度傳感器采用先進的微電子加工技術和電容式測量原理，可獲得優良的低頻響應，通過重力加速度g就可對傳感器進行標準，且內置自檢系統。