工業(yè)級振動速度傳感器，采用壓阻式、壓電式和電容式工作原理，產(chǎn)生的加速度正比于電阻、電壓和電容的變化，通過相應(yīng)的放大和濾波電路進(jìn)行采集。這個和普通的加速度傳感器是基于同樣的原理，所以在一定的技術(shù)上三個單軸就可以變成一個三軸。對于多數(shù)的傳感器應(yīng)用來看，兩軸的加速度傳感器已經(jīng)能滿足多數(shù)應(yīng)用。但是有些方面的應(yīng)用還是集中在三軸加速度傳感器中例如在數(shù)采設(shè)備，貴重資產(chǎn)監(jiān)測，碰撞監(jiān)測，測量建筑物振動,風(fēng)機(jī),風(fēng)力渦輪機(jī)和其他敏感的大型結(jié)構(gòu)振動。

三軸高靈敏度加速度傳感器的好處就是在預(yù)先不知道物體運(yùn)動方向的場合下，只有應(yīng)用三維加速度傳感器來檢測加速度信號。三維加速度傳感器具有體積小和重量輕特點(diǎn)，可以測量空間加速度，能夠全面準(zhǔn)確反映物體的運(yùn)動性質(zhì)。

高靈敏度加速度傳感器具有優(yōu)良的穩(wěn)定性，可靠性和抗干能力。普通加速度傳感器通常需要在標(biāo)準(zhǔn)振動臺上進(jìn)行標(biāo)定，給使用帶來不便。高靈敏度加速度傳感器采用*的微電子加工技術(shù)和電容式測量原理，可獲得優(yōu)良的低頻響應(yīng)，通過重力加速度g就可對傳感器進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)，且內(nèi)置自檢系統(tǒng)。