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目前高溫退火爐加熱大都為管式爐或馬弗爐，原理為加熱絲或硅碳棒對爐體加熱，加熱與降溫速度慢，效率低下，也無法實現溫度的高的精度測量，加熱區(qū)域也存在不均勻的現象，華測儀器通過多年研究開發(fā)了一種可實現高的精度，高反射率的拋物面與高質量的加熱源相配置，在高速加熱高速冷卻時，具有良好的溫度分布。可實現寬域均熱區(qū)，高速加熱、高速冷卻，用石英管保護加熱式樣，無氣氛污染。可在高真空，高純度氣體中加熱。設備可組成均熱高速加熱爐，溫度斜率爐，階段加熱爐，是一種目前較為理想的真高空退火爐。
高真空退火爐設備優(yōu)勢：
1.高速加熱與冷卻方式
高能量的紅外燈和鍍金反射方式允許高速加熱到高溫。同時爐體可配置水冷系統(tǒng)，增設氣體冷卻裝置，可實現快速冷卻。
2.溫度高的精度控制
過紅外鍍金聚焦爐和溫度控制器的組合使用，可以精que控制樣品的溫度(遠比普通加溫方式)。此外，冷卻速度和保持在任何溫度下可提供高的精度。
3.不同環(huán)境下的加熱與冷卻
加熱/冷卻可用真空、氣氛環(huán)境、低溫(高純度惰性氣體靜態(tài)或流動)，操作簡單，使用石英玻璃制成。紅外線可傳送到加熱/冷卻室。
高真空退火爐的應用：
1.電子材料
半導體用硅化合化的PRA(加熱后急速冷卻)
熱源薄膜形成·激活離子注入后硅化物的形成
2.陶瓷與無機材料
陶瓷基板退火爐
玻璃基板退火爐
陶瓷張力、撓曲試驗退火爐
3.鋼鐵和金屬材料
薄鋼板加熱過程的數值模擬
爐焊接模擬
高真空熱處理(1000℃以下)
大氣氣體熔化過程
壓力下耐火鋼和合金的熱循環(huán)試驗爐
4.復合材料
耐熱性評價爐
無機復合材料熱循環(huán)試驗爐
5.其它
高溫拉伸壓縮試驗爐
分段分區(qū)控制爐
溫度梯度爐
爐氣分析
超導陶瓷退火爐
關鍵詞：控制器
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