進入九十年代,國際上MEMS技術有了長足的發展,硅片定向微機電加工精度和成品率不斷提高,加上離子注入技術的發展使擴散硅壓力傳感器從技術上有了可靠保證,成本也有所下降。在許多應用領域里,擴散硅壓力傳感器還必須與充油蕊體配套,這又使它的售價大幅度上升。這些原因無疑在一定程度上促進了國內壓力傳感器市場的興盛。
近幾年,由昆山市人民政府和中科院,在昆山雙橋成立了國家火炬計劃昆山傳感器產業基地,使擁有自主知識產權的微納米MEMS技術硅壓阻式傳感器和變送器形成了產業鏈。合肥智能化所在陶瓷壓力傳感器方面在研發和制造技術方面也有了可喜的發展。這些進展都在一步步推進著國內市場的發展。
在國外,壓阻式陶瓷壓力傳感器以其高可靠性,抗腐蝕、優良的線性精度和低成本開始逐漸替代擴散硅壓力傳感器,這也將是必然的發展趨勢。國家馬頌德副部長在2005年底視察無錫時,對此作了充分肯定。
我國從事各種壓力變送器生產的廠家有1700多家,作為壓力變送器的核心部件-壓力傳感器實現國產化的時代巳經到來!
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