壓力變送器提高了真空沉積應(yīng)用中的穩(wěn)定性和速度

2022年06月11日 09:26:08人氣：88來源：安徽皖儀自動(dòng)化科技有限公司

大多數(shù)傳統(tǒng)的真空沉積工具使用壓力變送器來維持真空室中的氣體壓力。節(jié)流閥設(shè)置可能花費(fèi)數(shù)千美元。它還需要一個(gè)單好的控制模塊來為閥門供電，提供PID數(shù)據(jù)和設(shè)定點(diǎn)功能。節(jié)流閥設(shè)置還可能在更換氣體或等待腔室中的氣體沉降時(shí)導(dǎo)致延遲。

使用快速作用的比例控制閥，將控制儀器放置在腔室上游可以提供更快的響應(yīng)時(shí)間和更好的穩(wěn)定性。上游方法還消除了對額外閥門，切割設(shè)備需求和設(shè)置成本的需求。Alicat儀器提供了這種替代方案。

使用壓力變送器控制上游的真空水平

對于大型或OEM項(xiàng)目，壓力變送器（外部傳感器）壓力控制器能夠在安裝在腔室上游時(shí)控制真空水平。當(dāng)過程壓力處于高真空或超高真空并需要外部壓力表時(shí)，使用該系列。

從傳感器獲取模擬信號，并使用比例閥提供閉環(huán)控制。

通過添加外部壓力傳感器，可以更精確地保持腔室壓力，同時(shí)還允許用戶好立于真空沉積系統(tǒng)整體改變或調(diào)節(jié)用過的氣體。這允許更快地施加中性氣體，改善涂層環(huán)境中的控制和穩(wěn)定的壓力水平。

壓力變送器壓力控制器為外部真空計(jì)提供電源，并兼容所有儀表技術(shù)，包括離子，皮拉尼和冷陰極以及有源或無源儀表和組合儀表。

集成真空控制器（IVC）不再有節(jié)流閥體積

對于沒有現(xiàn)有真空計(jì)的小型實(shí)驗(yàn)和項(xiàng)目，Alicat IVC就是解決方案。與壓力變送器一樣，它減少了傳統(tǒng)節(jié)流閥壓力控制方法的體積，復(fù)雜性和費(fèi)用。我們將真空傳感器直接集成到設(shè)備中，從而可以立即控制真空室中的壓力。我們的傳感器能夠以高精度到低范圍運(yùn)行，低至10毫托。Alicat IVC還包括直接來自設(shè)備的PID控制，以及氣動(dòng)隔離傳感器 - 與市場上的其他解決方案相比，確保更高的精度 - 精確測量腔室和氣體好立性。

在真空涂層應(yīng)用中將壓力控制裝置放置在腔室的上游節(jié)省了時(shí)間，成本并提高了真空沉積工具的精度。

關(guān)鍵詞：壓力變送器比例控制閥變送器壓力控制器比例閥

上一篇：塑料薄膜拉力機(jī)的應(yīng)用

下一篇：MEMSEM熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的安裝

全年征稿/資訊合作 聯(lián)系郵箱：1271141964@qq.com

免責(zé)聲明

凡本網(wǎng)注明"來源：智能制造網(wǎng)"的所有作品，版權(quán)均屬于智能制造網(wǎng)，轉(zhuǎn)載請必須注明智能制造網(wǎng)，http://www.xashilian.com。違反者本網(wǎng)將追究相關(guān)法律責(zé)任。
企業(yè)發(fā)布的公司新聞、技術(shù)文章、資料下載等內(nèi)容，如涉及侵權(quán)、違規(guī)遭投訴的，一律由發(fā)布企業(yè)自行承擔(dān)責(zé)任，本網(wǎng)有權(quán)刪除內(nèi)容并追溯責(zé)任。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其它來源的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)或證實(shí)其內(nèi)容的真實(shí)性，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。

大地资源网视频在线观看新浪,日本春药精油按摩系列,成人av骚妻潮喷,国产xxxx搡xxxxx搡麻豆

壓力變送器提高了真空沉積應(yīng)用中的穩(wěn)定性和速度

免責(zé)聲明