壓電式加速度傳感器的機械接收部分是慣性式加速度機械接收原理,機電部分利用的是壓電晶體的正壓電效應。其原理是某些晶體(如人工J化陶瓷、壓電石英晶體等,不同的壓電材料具有不同的壓電系數,一般都可以在壓電材料性能表中查到。)在一定方向的外力作用下或承受變形時,它的晶體面或J化面上將有電荷產生,這種從機械能(力,變形)到電能(電荷,電場)的變換稱為正壓電效應。而從電能(電場,電壓)到機械能(變形,力)的變換稱為逆壓電效應。
因此利用晶體的壓電效應,可以制成測力傳感器,在振動測量中,由于壓電晶體所受的力是慣性質量塊的牽連慣性力,所產生的電荷數與加速度大小成正比,所以壓電式傳感器是加速度傳感器。
在振動試驗中,除了測量振動,還經常需要測量對試件施加的動態激振力。壓電式力傳感器具有頻率范圍寬、動態范圍大、體積小和重量輕等優點,因而獲得廣泛應用。壓電式力傳感器的工作原理是利用壓電晶體的壓電效應,即壓電式力傳感器的輸出電荷信號與外力成正比。
加速度傳感器,包括由硅膜片、上蓋、下蓋,膜片處于上蓋、下蓋之間,鍵合在一起;一維或二維納米材料、金電J和引線分布在膜片上,并采用壓焊工藝引出導線;工業現場測振傳感器,主要是壓電式加速度傳感器。其工作原理主要利于壓電敏感元件的壓電效應得到與振動或者壓力成正比的電荷量或者電壓量。目前工業現場典型采用IEPE型加速度傳感器,及內置IC電路壓電加速度傳感器,傳感器輸出與振動量正正比的電壓信號
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