使用時注意事項：

1. 儀器的功率參數設定不要超過60（即儀器額定功率的60%）

2. 樣品處理時間不要過長（不要超過10分鐘）如果感覺處理的效果不是很理想可以停機后，過5分鐘（待儀器的熱量散掉后）在進行一次處理。

3. 在日常的使用過程中一定要做到打開電源后，*行回氣操作使倉體恢復常壓（按下Air/Vent按鈕，并在3—5秒后復原Air/Vent按鈕）后再開始實驗。目的是防止真空泵油逆流。

4. 實驗中處理的樣品不要與儀器的艙內高壓板接觸

5. 對于本機而言一般材料的處理，所供氣體量在200-400ml/min之間等離子密度較為適宜

6. 平常要保持儀器的清潔，特別要注意艙門密封處。

7. 儀器不要放于特殊環境中使用，例如：高溫 高濕等惡劣環境。

外加氣體使用注意：

1.外加氣體（氧氣）由機箱的后邊 GAS1引入，現接口直徑為10毫米，也可配成直徑6毫米的接頭。

2.將氧氣的出口壓力調到0.2MPa，可長期接入，也可用完后關閉氧氣瓶。

3.外加氧氣時一定要注意：在正常使用前一定要在手動狀態下，先不按下GAS按鈕時給射頻，觀看艙體的.發光顏色，發白時為宜，此時再按下GAS按鈕，并調整流量計旋鈕，使流量在300--400毫升之間，此時的氧離子的發光顏色為灰色且有些霧蒙蒙的感覺，即為正常。

4.在艙體加射頻時出現打火的情況下（即真空度不夠的情況下），千萬不要加入氧氣，有可能引燃氧氣而將射頻線燒毀