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殘余氣體分析儀應用于高溫真空爐, 實現質量保證和過程優化

2023年04月13日 15:23:14人氣:289來源:伯東企業(上海)有限公司

殘余氣體分析儀應用于高溫真空爐, 實現質量保證和過程優化
上海伯東某客戶生產研發 X 射線管及組件, 使用德國 Pfeiffer Hicube RGA 殘余氣體分析儀與高溫真空爐連接, 測試產品在不同溫度下揮發的產物變化, 進一步分析產品的耐用性以及使用形態. 實現真空過程相關的質量控制, 滿足 X 射線管工藝要求.

殘余氣體分析儀質量保證和過程優化
諸如提供氣體成分定量測定, 確定過程氣體純度, 以及監測高溫真空爐工藝過程相關氣體成分等能力,  殘余氣體分析儀 HiCube RGA 是過程記錄和質量保證中的重要工具. 即使測量正在執行, 所有測量值也會得到存儲, 并且可以在不停止測量的情況下追蹤. 即使仍在執行測量, 也可以導出測量結果以進行進一步分析.
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 HiCube RGA

上海伯東 Pfeiffer 殘余氣體分析儀 HiCube RGA 進樣口為 DN16 ISO-K 標準真空法蘭, 可以根據客戶需求, 選擇不同的連接接口, 通過調整 EVN 116 氣體計量閥實現進樣, 進樣氣體流量可調整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s.

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 Hicube RGA 技術規格

渦輪分子泵組

HiCube™ Eco

功耗

170W

電壓(范圍)

110 - 240 V; 50 / 60 Hz

氮氣抽速

67 l/s

前級泵在 50 Hz 時的泵送速度

1 m3/h

極限真空

<1X10-7 hPa

真空計

PKR 361

測量范圍

1X10-9 至 1X103 hPa

閥門

EVN 116

氣體流量

可調整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s

進氣口

DN 16 ISO-KF

 

PrismaPro

QMG 250 F1

QMG 250 F2

QMG 250 F3

QMG 250 M1

QMG 250 M2

QMG 250 M3

檢測器

法拉第 Faraday (F)

電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)

質量數 amu

1–100

1–200

1–300

1–100

1–200

1–300

四極桿直徑/長度

6 /125 mm

最小檢測極限 F hPa *1,2

4X10-13

5X10-13

7X10-13

-

-

-

最小檢測極限 M hPa *1,2

-

-

-

3X10-15

4X10-15

5X10-15

對Ar的靈敏度 F A/hPa*3

5X10-4

4X10-4

3X10-4

5X10-4

4X10-4

3X10-4

工作壓力 F hPa

5X10-4

工作壓力 M hPa

-

-

-

5X10-5

5X10-5

5X10-5

對臨近質量數的影響*1

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

操作溫度 分析

200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)

操作溫度 電子

5 – 50 °C

烘烤溫度 分析

300 °C

連接法蘭

DN 40 CF-F

保壓時間

1 ms – 16 s/amu

峰比值可重復性

± 0.5 %

接口

以太網

電源電壓

100–240 V AC,50/60 Hz

HiCube™ RGA重量

25.5 - 26.2 kg

 


上海伯東銷售維修德國 Pfeiffer 殘余氣體分析儀 HiCube RGA.  四極桿質譜 PrismaPro 與 HiCube 渦輪分子泵組的搭配, 質量數范圍 1-300, 高分辨率和靈敏度. 適用于殘余氣體分析, 過程監測, 泄漏檢測.

若您需要進一步的了解殘余氣體分析儀詳細信息或討論, 請聯絡上海伯東葉女士


現部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯絡上海伯東 葉女士
上海伯東版權所有, 翻拷必究!

 

全年征稿/資訊合作 聯系郵箱:1271141964@qq.com

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