KRI 離子源應用于金屬熱蒸鍍設備

2023年06月06日 11:28:39人氣：145來源：伯東企業（上海）有限公司

KRI 離子源應用于金屬熱蒸鍍設備 Metal Thermal Evaporation System
熱蒸發是物理氣相沉積 PVD 中常用方法. 使用電加熱的蒸發源可用于沉積大多數的有機和無機薄膜, 其中以電阻式加熱法常見. 這些蒸發源的優點為它們可以提供一種簡單的薄膜沉積方法, 以電流通過其容納材料的舟為方式, 從而加熱材料. 當沉積材料的蒸氣壓超過真空室的溫度時, 材料將開始蒸發并沉積到基板上并且在于熱蒸發時可以精準的控制蒸發速度, 且薄膜的厚度和均勻度小于 +/- 3％. 上海伯東美國 KRI 考夫曼離子源可用于基板清潔和加速材料的蒸發速度, 并且離子源在材料沉積過程中可幫助沉積并使沉積后的薄膜更為致密.
KRI 離子源應用于金屬熱蒸鍍設備

----------- 金屬熱蒸鍍設備 Metal Thermal Evaporation System ----------

KRI 射頻離子源 RFICP 系列技術參數:

型號	RFICP 40	RFICP 100	RFICP 140	RFICP 220	RFICP 380
Discharge 陽極	RF 射頻	RF 射頻	RF 射頻	RF 射頻	RF 射頻
離子束流	>100 mA	>350 mA	>600 mA	>800 mA	>1500 mA
離子動能	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V
柵極直徑	4 cm Φ	10 cm Φ	14 cm Φ	20 cm Φ	30 cm Φ
離子束	聚焦, 平行, 散射
流量	3-10 sccm	5-30 sccm	5-30 sccm	10-40 sccm	15-50 sccm
通氣	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型壓力	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr
長度	12.7 cm	23.5 cm	24.6 cm	30 cm	39 cm
直徑	13.5 cm	19.1 cm	24.6 cm	41 cm	59 cm
中和器	LFN 2000

KRI 考夫曼離子源 KDC 技術參數:

型號	KDC 10	KDC 40	KDC 75	KDC 100	KDC 160
Discharge 陽極	DC 電流	DC 電流	DC 電流	DC 電流	DC 電流
離子束流	>10 mA	>100 mA	>250 mA	>400 mA	>650 mA
離子動能	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V
柵極直徑	1 cm Φ	4 cm Φ	7.5 cm Φ	12 cm Φ	16 cm Φ
離子束	聚焦, 平行, 散射
流量	1-5 sccm	2-10 sccm	2-15 sccm	2-20 sccm	2-30 sccm
通氣	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型壓力	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr
長度	11.5 cm	17.1 cm	20.1 cm	23.5 cm	25.2 cm
直徑	4 cm	9 cm	14 cm	19.4 cm	23.2 cm
中和器	燈絲

若您需要進一步的了解離子源詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式:
上海伯東: 羅先生

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