三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x是指在六面體空間中顯示幾何形狀、長(zhǎng)度和圓周分度的儀器，又稱(chēng)三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x或三坐標(biāo)測(cè)量床。三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x還可以定義探測(cè)器可以在三個(gè)垂直軌道上移動(dòng)，探測(cè)器可以通過(guò)數(shù)據(jù)處理器或計(jì)算機(jī)計(jì)算工件點(diǎn)(x、y、z)和功能測(cè)量?jī)x器通過(guò)接觸或非接觸傳輸信號(hào)，三軸位移測(cè)量系統(tǒng)(如光柵尺)。三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的測(cè)量功能應(yīng)包括尺寸精度、定位精度、幾何精度和輪廓精度。

機(jī)型介紹

結(jié)構(gòu)類(lèi)型：三軸花崗巖，四面環(huán)繞活動(dòng)橋結(jié)構(gòu)。

三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x：

傳動(dòng)方式：直流伺服系統(tǒng)+預(yù)載高精度空氣軸承。

RENISHAW開(kāi)放式光柵尺分辨率為0.1μm。

測(cè)頭系統(tǒng)：雷尼紹控制器、雷尼紹測(cè)頭、雷尼紹測(cè)針。

機(jī)器:高精度(00級(jí))花崗巖平臺(tái)。

使用環(huán)境：溫度(20±2)℃，濕度40%-70%，溫度梯度1℃/m，溫度變化1℃/h。

空氣壓力：0.4MPa-0.6MPa。

空氣流量：25升/min。

MPEE:≤2.1+L/350(μm)

MPEP：≤2.1μm。

主要特征

三軸采用天然高精度花崗巖導(dǎo)軌，保證整體熱力學(xué)性能相同，避免三軸材料不同熱膨脹系數(shù)造成的機(jī)器精度誤差。

比較花崗巖和航空鋁合金。

1.鋁合金熱膨脹系數(shù)大。航空鋁合金梁和Z軸一般采用三坐標(biāo)測(cè)量基準(zhǔn)光柵尺的損壞和精度變化。

2.由于三坐標(biāo)平臺(tái)為花崗巖結(jié)構(gòu)，三坐標(biāo)主軸也為花崗巖材料。主軸采用花崗巖、梁、Z軸等材料。由于三軸熱膨脹系數(shù)不同，溫度變化時(shí)測(cè)量精度扭曲穩(wěn)定。

三軸導(dǎo)軌采用天然花崗巖周?chē)木匦谓Y(jié)構(gòu)。預(yù)應(yīng)力浮軸承的高精度自清洗是保證機(jī)器精度長(zhǎng)期穩(wěn)定的基礎(chǔ)。同時(shí)，軸承應(yīng)力沿軸向穩(wěn)定平衡，有利于保證機(jī)械硬件的使用壽命。

3.采用小孔節(jié)氣技術(shù)。