三坐標測量儀是指在六面體空間中顯示幾何形狀、長度和圓周分度的儀器，又稱三坐標測量儀或三坐標測量床。三坐標測量儀還可以定義探測器可以在三個垂直軌道上移動，探測器可以通過數據處理器或計算機計算工件點(x、y、z)和功能測量儀器通過接觸或非接觸傳輸信號，三軸位移測量系統(如光柵尺)。三坐標測量儀的測量功能應包括尺寸精度、定位精度、幾何精度和輪廓精度。

機型介紹

結構類型：三軸花崗巖，四面環繞活動橋結構。

三坐標測量儀：

傳動方式：直流伺服系統+預載高精度空氣軸承。

RENISHAW開放式光柵尺分辨率為0.1μm。

測頭系統：雷尼紹控制器、雷尼紹測頭、雷尼紹測針。

機器:高精度(00級)花崗巖平臺。

使用環境：溫度(20±2)℃，濕度40%-70%，溫度梯度1℃/m，溫度變化1℃/h。

空氣壓力：0.4MPa-0.6MPa。

空氣流量：25升/min。

MPEE:≤2.1+L/350(μm)

MPEP：≤2.1μm。

主要特征

三軸采用天然高精度花崗巖導軌，保證整體熱力學性能相同，避免三軸材料不同熱膨脹系數造成的機器精度誤差。

比較花崗巖和航空鋁合金。

1.鋁合金熱膨脹系數大。航空鋁合金梁和Z軸一般采用三坐標測量基準光柵尺的損壞和精度變化。

2.由于三坐標平臺為花崗巖結構，三坐標主軸也為花崗巖材料。主軸采用花崗巖、梁、Z軸等材料。由于三軸熱膨脹系數不同，溫度變化時測量精度扭曲穩定。

三軸導軌采用天然花崗巖周圍的矩形結構。預應力浮軸承的高精度自清洗是保證機器精度長期穩定的基礎。同時，軸承應力沿軸向穩定平衡，有利于保證機械硬件的使用壽命。

3.采用小孔節氣技術。