高低溫探針臺晶圓測溫系統

隨著航空航天、汽車電子、光伏、工業自動化等許多領域技術的不斷發展，芯片在各種jiduan溫度環境下的應用也越來越廣泛。在芯片的研發生產中，晶圓高低溫測試變得越發重要。

探針臺作為晶圓測試的關鍵設備，其工作原理是利用探針臺的探針與被測器件上的PAD點精準對針，將測試機輸出激勵信號進行互通與信號反饋，最終完成測試數據的獲取采集。在整個測試過程中，工程師們希望能以最短的時間獲取可靠的測試數據，這就需要一套專業的測量系統與解決方案來快速精準地完成晶圓測試工作。

探針臺作為晶圓測試的關鍵設備，其工作原理是利用探針臺的探針與被測器件上的PAD點精準對針，將測試機輸出激勵信號進行互通與信號反饋，最終完成測試數據的獲取采集。在整個測試過程中，工程師們希望能以最短的時間獲取可靠的測試數據，這就需要一套專業的測量系統與解決方案來快速精準地完成晶圓測試工作。

智測電子晶圓溫度測量系統，可用于記錄等離子蝕刻工藝環境對真實工藝條件下生產晶圓的影響。 高精度溫度傳感器能夠實現晶圓整體溫度監測，這與導體蝕刻工藝的 CD 均勻性控制密切相關。通過測量與產品工藝接近條件下的溫度數據，可以幫助工藝工程師完成調整蝕刻工藝條件，驗證及匹配腔體、和PM后的驗證等工作。?