上海伯東日本 Atonarp Aston Impact 高靈敏度質譜分析儀, 基于四級桿的質量分離, Aston 質譜分析儀設計緊湊, 適用于氣體分析和過程氣體監測, 滿足半導體工藝過程中, 沉積, 刻蝕, 光刻等氣體分析.
Aston 質譜分析儀 CVD 清洗終點優化
選擇 clean 的反應物或者生成物, 使用 Aston 相對定量分析其中的氣體成分, 可以動態判斷 CVD 清潔過程的刻蝕終點的時間. 不論是氣體的節省和工藝時間的節省都可以盡可能增大產能.
Aston 質譜分析儀與腔室連接
Aston Impact 高靈敏度質譜分析儀基本參數
型號 | Aston Impact-300 | Aston Impact-300DP |
質量分離 | 四級桿 | |
離子發生器 | 電子電離 EI | 電子電離 EI |
檢測器 | 法拉第杯 / 掃描電鏡 | |
真空系統 | 渦輪分子泵 | 渦輪分子泵 |
質量范圍 | 2-285 amu | |
檢測限 | 100 ppb | |
精度 | 0.5% | |
可重復性 | +/-0.5% over 24 Hr | |
耐腐蝕性氣體 | 輕微 | |
耐副產物氣體 | 是 | |
高速以太網 | 是 | |
氣體壓力覆蓋面廣 | 是 |
上海伯東代理日本 Atonarp 過程控制質譜儀 Aston™, 通過使用分子傳感技術, 提供半導體制程中 ALD, CVD, 蝕刻, ALE 和腔室在大批量生產中的氣體偵測分析, 實現尾氣在線監控, 診斷, 為半導體過程控制提供解決方案, 提高半導體制造工藝的產量, 吞吐量和效率, 在現有生產工藝工具上加裝 Aston, 可在短時間內實現晶圓更高產量!
若您需要進一步的了解 Atonarp Aston™ 在線質譜儀詳細信息或討論,
請聯絡上海伯東: 葉女士
現部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯絡上海伯東 葉女士
上海伯東版權所有, 翻拷必究
上一篇:如何對漩渦風泵進行維護保養
下一篇:聊聊現場動平衡儀有哪些優勢
免責聲明
- 凡本網注明"來源:智能制造網"的所有作品,版權均屬于智能制造網,轉載請必須注明智能制造網,http://www.xashilian.com。違反者本網將追究相關法律責任。
- 企業發布的公司新聞、技術文章、資料下載等內容,如涉及侵權、違規遭投訴的,一律由發布企業自行承擔責任,本網有權刪除內容并追溯責任。
- 本網轉載并注明自其它來源的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網贊同其觀點或證實其內容的真實性,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時,必須保留本網注明的作品來源,并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題,請在作品發表之日起一周內與本網聯系,否則視為放棄相關權利。
2025中國鄭州衡器與計量技術設備展覽會
展會城市:鄭州市展會時間:2025-11-07