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Tc Wafer熱電偶晶圓測溫系統(tǒng)具有高精度、溫度范圍寬

2024年03月04日 14:10:51人氣:90來源:上海智與懋檢測儀器設(shè)備有限公司

Tc Wafer熱電偶晶圓測溫系統(tǒng)具有高精度、溫度范圍寬

    TC-Wafer晶圓溫度傳感器是將高精度溫度傳感器鑲嵌在晶圓表面,對晶圓表面的溫度進(jìn)行實(shí)時測量。通過晶圓的測溫點(diǎn)了解特定位置晶圓的真實(shí)溫度,以及晶圓整體的溫度分布,同還可以監(jiān)控半導(dǎo)體設(shè)備控溫過程中晶圓發(fā)生的溫度變化,獲得升溫、降溫以及恒溫過程期間的溫度溫度數(shù)據(jù),從而了解半導(dǎo)體設(shè)備的溫度均勻度。


晶圓33.jpg



智測電子的高精度晶圓熱電偶溫度傳感器是半導(dǎo)體制造廠 Fab、PVD/CVD 部門、RTP 部門等行業(yè)用戶的***。

作為一家專業(yè)的傳感器生產(chǎn)廠家,智測電子不僅擁有全套傳感器生產(chǎn)、加工與檢測設(shè)備,還能為用戶提供定制化的解決方案。

其產(chǎn)品優(yōu)勢在于軟件功能優(yōu)異,能夠?qū)崿F(xiàn)高精度多通道數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)、趨勢繪圖和數(shù)據(jù)導(dǎo)出等功能。智測電子生產(chǎn)研發(fā)的TC-Wafer晶圓溫度傳感器,其溫度范圍廣泛,智測電子的產(chǎn)品設(shè)計(jì)考慮到了用戶的實(shí)際需求,傳感器引線可定制,且采用了硅基膠粘劑和焊接技術(shù),使其具有更好的性能和可靠性。

智測電子的高精度溫度傳感器不僅在技術(shù)上具備優(yōu)勢,而且在服務(wù)方面也能夠?yàn)橛脩籼峁I(yè)的解決方案。無論是在半導(dǎo)體裝備、航空航天、智能制造、高校實(shí)驗(yàn)室、計(jì)**所、生物技術(shù)等行業(yè),智測電子都能夠?yàn)橛脩籼峁└咂焚|(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù),滿足用戶對高精度測溫的需求。

Tc Wafer熱電偶晶圓測溫系統(tǒng)具有高精度、溫度范圍寬





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