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低溫泵真空系統(tǒng)操作注意事項

2010年08月05日 11:54:18人氣:1302來源:上海超眾液壓氣動成套設(shè)備有限公司

  (1)在低溫泵系統(tǒng)中,有時為了減少表面出氣,需要對工作室壁用液氮冷卻。但此時,在解釋電離規(guī)讀數(shù)時就應(yīng)注意。即使室壁不冷卻,規(guī)在低溫系統(tǒng)內(nèi)的位置很重要,特別是否直接對著泵。由于電離規(guī)測量的是氣體密度而不是壓強,若規(guī)內(nèi)氣體溫度為T1,而系統(tǒng)內(nèi)溫度為T2,則電離規(guī)壓強讀數(shù)是Pi=P(T1/T2)1/2,這里P 是系統(tǒng)內(nèi)的壓力。

  (2) 烘烤低溫泵真空系統(tǒng)時應(yīng)特別注意,由于低溫泵怕熱輻射,當系統(tǒng)烘烤到450℃時,可能導(dǎo)致泵的溫度升高到超過工作范圍,此時可以在泵和系統(tǒng)之間插入水冷擋板作為熱輻射屏蔽,但這會嚴重地減小抽速。可以把擋板制成烘烤時旋轉(zhuǎn)到屏蔽位置,結(jié)束后旋轉(zhuǎn)回去的類似于蝶閥的結(jié)構(gòu)。檔板在屏蔽位置時,系統(tǒng)的抽速減小了75%。

  (3)在抽氣系統(tǒng)操作時,系統(tǒng)的操作者應(yīng)確保在工作過程中低溫泵的熱載荷不超過額定指標,尤其應(yīng)特別注意泵*級吸附板上的熱載荷大小。為了確保低溫泵的熱載荷不超過指標(尤其是*級上的熱負載),應(yīng)采用某種形式的障板來減少射到*級上的輻射用量。除了真空室壁附近300 K 的輻射外,*級還接受來自諸如鍍膜室、加熱燈絲或濺射放電等熱輻射源。在許多過程中熱載荷可高達100 到150 W,此時就容易超過功率為35 到40 W 的膨脹機的容量。因而需要加某種形式的障板來減少射到*級上的輻射通量。zui簡單的辦法是用反射的非冷卻障板。如果還不夠的話,則需要采用帶冷卻的人字形障板。這種障板可以用水冷卻也可以用液氮來冷卻。

  (4)低溫泵在連續(xù)運轉(zhuǎn)中,尤其是在吸附劑被氦飽和時,應(yīng)特別注意防止瞬時斷電,因為即使是短時間停電,氦氣也會從吸附劑中釋放出來,而且會把真空器壁上的大量熱量傳到抽氣表面上去。這時即使系統(tǒng)已經(jīng)粗抽到20 Pa 也解決不了問題,因為那也不足以阻止連續(xù)的熱傳導(dǎo)現(xiàn)象發(fā)生。

  如果發(fā)生短時間斷電情況,即當氦被猝發(fā)以后,則泵就不能再繼續(xù)工作,而需要再生了。如果停電時間較長,則可能使水蒸氣從*級釋放出來并淀積在第二級上使吸附劑飽和,此時需要*再生。

  (5)操作中應(yīng)經(jīng)常檢查低溫泵的過壓安全閥是否正常,以防止安全閥失靈,對操作者和泵造成危害。

  (6)不能用低溫泵抽除有毒的或易爆及容易產(chǎn)生化學反應(yīng)的危險氣體。因為低溫表面可冷凝各種蒸氣,所以它會累積大量的沉積物,當泵被升溫時,低溫表面冷凝的某些沉積物就可能相互反應(yīng)或與大氣發(fā)生反應(yīng)。例如,硅烷和水蒸氣在77 K 時會起反應(yīng),產(chǎn)生爆炸的危險。如果泵中凝結(jié)著爆炸性氣體,則在泵突然升溫大量氣體放出時,它們會流到被抽空的系統(tǒng)中去,此時如果電離規(guī)在工作就會發(fā)生嚴重問題。

  (7)低溫泵對所有氣體的抽氣能力并不是都一樣。低溫泵的抽氦和抽氫的能力要比抽其它氣體的能力差得多,在系統(tǒng)的組成和操作時應(yīng)考慮這一點。

  (8) 壓縮機需充以高純氦(99.999%)。氖是氦中zui常見的雜質(zhì),它會凝聚在低溫級上并導(dǎo)致密封件磨損。

 

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