真空泵分類：水環式真空泵、羅茨真空泵、旋片式真空泵水環式真空泵作業原理：水環式真空泵葉片的葉輪偏心腸裝在圓柱形泵殼內。泵內注入一定量的水。葉輪旋轉時，將水甩至泵殼形成一個水環，環的內表面與葉輪輪轂相切。

　　因為泵殼與葉輪不同心，右半輪轂與水環間的進氣空間4逐步擴大，從而形成真空，使氣體經進氣管進入泵內進氣空間。隨后氣體進入左半部，因為轂環之間容積被逐步壓縮而增高了壓強，所以氣體經排氣空間及排氣管被排至泵外。

　　羅茨真空泵作業原理：羅茨泵的作業原理與羅茨鼓風機相似。因為轉子的不斷旋轉，被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內，再經排氣口排出。因為吸氣后v0空間是全封閉狀況，所以，在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。

　　但當轉子頂部轉過排氣口邊際，v0空間與排氣側相通時，因為排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然增高。當轉子持續滾動時，氣體排出泵外。一般來說，羅茨泵具有以下特色：在較寬的壓強規模內有較大的抽速起動快，能立即作業。