變頻油螺桿真空泵，包括安裝在框架上的主體變頻油螺桿真空泵，油氣分離設備，用于電源，冷卻設備和主體的進口變頻油螺桿真空泵銜接到與真空容器銜接的氣體通道體系，變頻油泵真空泵的主電動機作業，分離設備油氣經過油路體系變頻油螺桿真空泵銜接到主機，冷卻設備用于冷卻。

　　變頻油螺桿真空泵的作業原理：變頻油螺桿真空泵的作業進程可分為三個進程：吸氣，緊縮和排氣。 當轉子旋轉時，彼此嚙合的每一對齒又一次完結相同的作業循環。 現在，一對牙齒用于闡明。緊縮進程： 端面是排氣端面。 在此，陽轉子順時針旋轉，陰轉子逆時針旋轉。

　　吸入進程： 陽轉子逆時針旋轉，而內螺紋順時針旋轉。 圖中轉子的上端是吸氣段，下端是排氣端。排氣進程： 在變頻油螺桿真空泵的排氣進程中，在齒之間的容積銜接到排氣口之后開端排氣進程。 跟著齒間容積的不斷減小，具有排氣壓力的氣體逐漸經過排氣口排出。

　　變頻油螺桿真空泵的結構：在密封和潤滑方面的結構于其他真空泵大致類似，不同之處在于：變頻油螺桿真空泵上固定著排氣管，排氣管與主機變頻油螺桿真空泵相連的型腔，管道與油方位上方的油氣分離相銜接。而普通真空泵的排氣端使用機械密封，進氣口通常使用嘴唇形密封。