螺桿真空泵是容積式真空泵的新成員。它出現(xiàn)在20世紀(jì)90年代左右，發(fā)展相對(duì)較晚。然而，作為一種理想的干式泵，螺桿真空泵自問(wèn)世以來(lái)發(fā)展迅速。

螺桿真空泵一般為雙螺桿結(jié)構(gòu)。螺桿真空泵是一種通過(guò)一對(duì)不對(duì)稱的螺桿轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)同步、反向工作，并周期性改變齒間容積的吸、排氣設(shè)備。

其主要結(jié)構(gòu)包括螺桿轉(zhuǎn)子、軸承、泵體、密封等。經(jīng)過(guò)精細(xì)的動(dòng)平衡校正后，螺桿轉(zhuǎn)子由軸承支撐并安裝在泵腔內(nèi)。螺釘和螺釘之間保持嚴(yán)格的間隙。泵工作時(shí)，兩者之間無(wú)摩擦，運(yùn)行平穩(wěn)，噪音低，腔內(nèi)無(wú)需潤(rùn)滑油。因此，螺桿真空泵可以在含有大量蒸汽和少量灰塵的場(chǎng)合泵出氣體。它具有極限真空度高、功耗低、節(jié)能、免維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)。

螺桿真空泵結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單。在形式上，螺桿真空泵可分為臥式和立式；根據(jù)螺桿轉(zhuǎn)子的不同外形，可分為單頭螺桿真空泵和多頭螺桿真空泵；根據(jù)轉(zhuǎn)子節(jié)距的不同，單頭螺桿真空泵可分為等節(jié)距螺桿真空泵和變節(jié)距螺桿真空泵。可變螺距可細(xì)分為一級(jí)式、二級(jí)式、三級(jí)式等。螺桿真空泵是容積式真空泵的新成員。它出現(xiàn)在20世紀(jì)90年代左右，發(fā)展相對(duì)較晚。然而，作為一種理想的干式泵，螺桿真空泵自問(wèn)世以來(lái)發(fā)展迅速。