雙圓裂片式規劃和現在和廣泛應用的羅茨泵十分相似。事實上,一些最前期的干泵規劃思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級規劃使得氣體通路適當雜亂,而且每一級都需求較大流量的氮氣起到稀釋和阻隔效果。一起,為了到達好的真空度,對各級的間隙有十分嚴厲的要求。當然,這種規劃由于增加了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。
三葉圓裂片式規劃和雙圓裂片式規劃的原理相同,只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種規劃有著相同的優點和缺陷。為了進一步下降耗電量,在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達,但這也會導致扭矩減小,重新啟動的能力-下降。同雙圓裂片式規劃一樣,三葉圓裂片式規劃的每一級都需求較大流量的氮氣來起到稀釋和阻隔效果。
組合式(羅茨+爪)規劃用羅茨來進步在較低壓力下的抽氣功率,用爪來進步在較高壓力下的抽氣功率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式規劃相同。也有些廠家將其級改為星型規劃,這樣能夠在旋轉一圈中將氣體分為五份,就像三圓裂片式規劃能夠將其分為三份。同樣,在很多工藝中,組合式規劃的每一級都需求較大流量的氮氣來起到稀釋和阻隔效果。
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