⑴真空泵作業時發生的振動對工藝進程及環境有無影響。若工藝進程不允許，應挑選無振動的泵或者采取防振動辦法。

    ⑵了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。挑選真空泵時，需求知道氣體成分，針對被抽氣體挑選相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。

    ⑶真空泵在其作業壓強下，應能排走真空設備工藝進程中發生的全部氣體量。

    ⑷正確地組合真空泵。因為真空泵有挑選性抽氣，因此，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需求幾種泵組合起來，相互補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空設備得到較好的真空度。別的，有的真空泵不能在大氣壓下作業，需求預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需求前級泵，故都需求把泵組合起來使用。

    ⑸真空設備對油污染的要求。若設備嚴厲要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴厲，能夠挑選有油泵，加上一些防油污染辦法，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。