島津儀器在電子、半導(dǎo)體、汽車行業(yè)的應(yīng)用

2025年03月09日 07:23:36人氣：332來(lái)源：廣州市化興科學(xué)儀器有限公司

電子


支持電子零部件產(chǎn)品評(píng)價(jià)、品質(zhì)管理,介紹用于電子裝置實(shí)裝、半導(dǎo)體基板制造工藝中的檢測(cè)儀器。
·表面構(gòu)造解析裝置 ·接點(diǎn)不良/斷線、燒壞 ·腐蝕、剝離/接觸不良、異物
電子探針 EPMA-1600/1610型　　分析掃描電子顯微鏡 SSX-550型
·異物解析裝置 ·表面污染/異物、污點(diǎn) ·缺陷 ·膜厚管理
FTIR顯微鏡系統(tǒng)IRPrestige-21
·有害物質(zhì)測(cè)定裝置 ·有害重金屬、薄膜組成 ·不良解析、廢材處理
能量色散型微區(qū)X射線熒光光譜儀 µEDX系列　　能量色散型X射線熒光光譜儀 EDX系列
·特性測(cè)定裝置/粒度測(cè)定裝置
差示掃描量熱儀DSC-60系列　　差熱-熱重同時(shí)分析儀DTG-60系列　　對(duì)應(yīng)超微粒子型激光粒度儀SALD-7101
·潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè) ·特定污染源、保持潔凈度 ·微量有機(jī)物、微量雜質(zhì)測(cè)定
氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀GCMS-QP2010 Plus 　　原子吸收分光光度計(jì)AA-6300C 　　總有機(jī)碳分析儀燃燒法在線型TOC-V CSH online
·膜厚、光學(xué)特性測(cè)試裝置 ·膜厚/光學(xué)測(cè)定
傅里葉變換紅外光譜儀IRPrestige-21 　　紫外可見(jiàn)近紅外分光光度計(jì)SolidSpec-3700
·無(wú)損X射線檢查裝置 ·高密度實(shí)裝/可靠性 ·故障解析
X-ray檢查裝置(透視) 　　X-ray檢查裝置(CT)
·物理特性測(cè)試裝置 ·強(qiáng)度測(cè)試 ·耐久性測(cè)試
小型臺(tái)式電子試驗(yàn)機(jī)EZ Test/EZ Graph 　　微小電磁力疲勞試驗(yàn)機(jī)MMT系列
·物理特性測(cè)試裝置 ·表面硬度 ·粘性測(cè)定 ·天平
超顯微動(dòng)態(tài)硬度計(jì)DUH-211/211S 　　毛細(xì)管式流變儀CFT-500D/100D 　　分析天平AUW-D系列電子托盤天平UX/UW系列

半導(dǎo) 體制造工藝
從前段工藝到后段工藝,島津的半導(dǎo)體制造技術(shù)和檢測(cè)技術(shù)支持不斷創(chuàng)新發(fā)展的半導(dǎo)體工藝。特別是在新Low-K材料等面世的同時(shí)，對(duì)于測(cè)試技術(shù)的需求日益高漲。高、強(qiáng)電介體成膜用液體材料氣化裝置等新一代的制造裝置系列，以及被廣泛采用的渦輪分子泵等裝置支撐著半導(dǎo)體工業(yè)。
·元件分離工藝(前段工藝)
RMS測(cè)定、保護(hù)膜截面觀察→SPM 　晶片中有機(jī)物污染分析→GCMS QP2010SE 　硬度測(cè)定→顯微硬度計(jì) 　膜厚的熱變化→DTG 　保護(hù)膜的分子量分析和雜質(zhì)測(cè)定→HPLC ESSENTIA LC 51C 　結(jié)晶面的雜質(zhì)測(cè)定、異物檢查→顯微FTIR 　晶片中的氧、碳、磷、硼酸的定量,外延膜膜厚測(cè)定、膜中的氫濃度、膜的組成、結(jié)晶內(nèi)的O、C的測(cè)定、清洗液雙氧水，氨濃度管理→FTIR 　蝕刻液的雜質(zhì)測(cè)定、清洗液的測(cè)定→UV、AA-6300C 　污染測(cè)定→XRF、XPS 　回收水、再生水測(cè)定→TOC 　微量雜質(zhì)測(cè)定→GC-2014C 　膜厚測(cè)定→UV 2450
·晶體管形成工藝(前段工藝)
蝕刻液的雜質(zhì)測(cè)定→AA 6300C 　極薄膜的膜厚測(cè)定、組成分析→XRF、XPS 　保護(hù)膜的官能團(tuán)測(cè)定→FTIR 　排水管理→TOC 　 HSG的粒徑測(cè)定→SPM
·配線形成工藝(前段工藝)
BPSG組成分析 SiN中的H分布測(cè)定、深度方向組成分析→XRF、EDX、XPS Al、Cu配線的組成分析→XRF、EDX、XPS
·后段工藝
硬度測(cè)定→顯微硬度計(jì) 　焊接點(diǎn)的表面分析→XPS 　 Al腐蝕解析→SSX 　引線框架電鍍液的管理→AA 6300C 　焊接不良解析→SEM 　拉引線、封裝、焊接線的強(qiáng)度試驗(yàn)→材料試驗(yàn)機(jī) 　缺陷檢查→X射線透視、CT裝置　模樹脂的成形條件評(píng)價(jià)→流變儀　環(huán)氧樹脂的熱硬化測(cè)定→DSC 　裝置檢查→檢漏儀

與汽車相關(guān) 的測(cè) 試裝置
面向新一代汽車的開(kāi)發(fā)和安全性，滿足開(kāi)發(fā)需求的評(píng)價(jià)、檢查、試驗(yàn)裝置,作為綜合分析試驗(yàn)裝置生產(chǎn)廠家，可為開(kāi)發(fā)人們期待的新一代汽車FCV（燃料電池汽車）予以支持，提案各種裝置群。此外,在可作為汽車燃料電池的固體高分子型燃料電池的開(kāi)發(fā)、因投入基礎(chǔ)設(shè)施最少而被注目的改質(zhì)器的開(kāi)發(fā)、與FCV的實(shí)用化相關(guān)的新材料的開(kāi)發(fā)評(píng)價(jià)等方面也可以提供綜合的幫助。
·改性器測(cè)試裝置
高靈敏度無(wú)機(jī)氣體分析裝置GC-2014(PDD)
·無(wú)損檢測(cè)裝置
微焦點(diǎn)X射線CT系統(tǒng)SMX-3000micro
·熱分析裝置
差示掃描量熱儀DSC-60系列　差熱-熱重同時(shí)分析儀DTG-60系列
·燃料電池測(cè)試裝置
超顯微動(dòng)態(tài)硬度計(jì)DUH-211/211S
·材料強(qiáng)度測(cè)試裝置
電子、電裝部件試驗(yàn)（MMT系列）　電液伺服疲勞試驗(yàn)機(jī)EHF-U系列　液壓試驗(yàn)機(jī)UH-I系列　空氣疲勞試驗(yàn)機(jī)ADT-A系列
·燃料電池測(cè)試裝置（表面觀察、組成、構(gòu)造、膜厚）
分析掃描電子顯微鏡 SSX-550型　多道X射線熒光光譜儀 MXF-2400型　ICP發(fā)射光譜儀　X射線衍射儀 XRD-6000型　氛圍控制掃描探針顯微鏡 WET-SPM系列　能量色散型X射線熒光光譜儀 EDX系列　光電直讀光譜儀PDA-7000系列　掃描型X射線熒光光譜儀 XRF-1800型　X-ray檢查裝置（CT）
·粉體物理性質(zhì)測(cè)試裝置
激光粒度儀SALD-2201

關(guān)鍵詞：電子探針掃描電子顯微鏡顯微鏡熒光光譜儀光譜儀

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