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電 子
| 支持電子零部件產(chǎn)品評價、品質(zhì)管理,介紹用于電子裝置實裝、半導(dǎo)體基板制造工藝中的檢測儀器。 | |
| ·表面構(gòu)造解析裝置 ·接點不良/斷線、燒壞 ·腐蝕、剝離/接觸不良、異物 | |
| 電子探針 EPMA-1600/1610型 分析掃描電子顯微鏡 SSX-550型 | |
| ·異物解析裝置 ·表面污染/異物、污點 ·缺陷 ·膜厚管理 | |
| FTIR顯微鏡系統(tǒng)IRPrestige-21 | |
| ·有害物質(zhì)測定裝置 ·有害重金屬、薄膜組成 ·不良解析、廢材處理 | |
| 能量色散型微區(qū)X射線熒光光譜儀 µEDX系列 能量色散型X射線熒光光譜儀 EDX系列 | |
| ·特性測定裝置/粒度測定裝置 | |
| 差示掃描量熱儀DSC-60系列 差熱-熱重同時分析儀DTG-60系列 對應(yīng)超微粒子型激光粒度儀SALD-7101 | |
| ·潔凈室環(huán)境監(jiān)測 ·特定污染源、保持潔凈度 ·微量有機物、微量雜質(zhì)測定 | |
| 氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀GCMS-QP2010 Plus 原子吸收分光光度計AA-6300C 總有機碳分析儀燃燒法在線型TOC-V CSH online | |
| ·膜厚、光學(xué)特性測試裝置 ·膜厚/光學(xué)測定 | |
| 傅里葉變換紅外光譜儀IRPrestige-21 紫外可見近紅外分光光度計SolidSpec-3700 | |
| ·無損X射線檢查裝置 ·高密度實裝/可靠性 ·故障解析 | |
| X-ray檢查裝置(透視) X-ray檢查裝置(CT) | |
| ·物理特性測試裝置 ·強度測試 ·耐久性測試 | |
| 小型臺式電子試驗機EZ Test/EZ Graph 微小電磁力疲勞試驗機MMT系列 | |
| ·物理特性測試裝置 ·表面硬度 ·粘性測定 ·天平 | |
| 超顯微動態(tài)硬度計DUH-211/211S 毛細管式流變儀CFT-500D/100D 分析天平AUW-D系列 電子托盤天平UX/UW系列 | |
半 導(dǎo) 體 制 造 工 藝 | |
| 從前段工藝到后段工藝,島津的半導(dǎo)體制造技術(shù)和檢測技術(shù)支持不斷創(chuàng)新發(fā)展的半導(dǎo)體工藝。特別是在新Low-K材料等面世的同時，對于測試技術(shù)的需求日益高漲。高、強電介體成膜用液體材料氣化裝置等新一代的制造裝置系列，以及被廣泛采用的渦輪分子泵等裝置支撐著半導(dǎo)體工業(yè)。 | |
| ·元件分離工藝(前段工藝) | |
| RMS測定、保護膜截面觀察→SPM 晶片中有機物污染分析→GCMS QP2010SE 硬度測定→顯微硬度計 膜厚的熱變化→DTG 保護膜的分子量分析和雜質(zhì)測定→HPLC ESSENTIA LC 51C 結(jié)晶面的雜質(zhì)測定、異物檢查→顯微FTIR 晶片中的氧、碳、磷、硼酸的定量,外延膜膜厚測定、膜中的氫濃度、膜的組成、結(jié)晶內(nèi)的O、C的測定、清洗液雙氧水，氨濃度管理→FTIR 蝕刻液的雜質(zhì)測定、清洗液的測定→UV、AA-6300C 污染測定→XRF、XPS 回收水、再生水測定→TOC 微量雜質(zhì)測定→GC-2014C 膜厚測定→UV 2450 | |
| ·晶體管形成工藝(前段工藝) | |
| 蝕刻液的雜質(zhì)測定→AA 6300C 極薄膜的膜厚測定、組成分析→XRF、XPS 保護膜的官能團測定→FTIR 排水管理→TOC HSG的粒徑測定→SPM | |
| ·配線形成工藝(前段工藝) | |
| BPSG組成分析 SiN中的H分布測定、深度方向組成分析→XRF、EDX、XPS Al、Cu配線的組成分析→XRF、EDX、XPS | |
| ·后段工藝 | |
| 硬度測定→顯微硬度計 焊接點的表面分析→XPS Al腐蝕解析→SSX 引線框架電鍍液的管理→AA 6300C 焊接不良解析→SEM 拉引線、封裝、焊接線的強度試驗→材料試驗機 缺陷檢查→X射線透視、CT裝置 模樹脂的成形條件評價→流變儀 環(huán)氧樹脂的熱硬化測定→DSC 裝置檢查→檢漏儀 | |
與 汽 車 相 關(guān) 的 測 試 裝 置 | |
| 面向新一代汽車的開發(fā)和安全性，滿足開發(fā)需求的評價、檢查、試驗裝置,作為綜合分析試驗裝置生產(chǎn)廠家，可為開發(fā)人們期待的新一代汽車FCV（燃料電池汽車）予以支持，提案各種裝置群。此外,在可作為汽車燃料電池的固體高分子型燃料電池的開發(fā)、因投入基礎(chǔ)設(shè)施最少而被注目的改質(zhì)器的開發(fā)、與FCV的實用化相關(guān)的新材料的開發(fā)評價等方面也可以提供綜合的幫助。 | |
| ·改性器測試裝置 | |
| 高靈敏度無機氣體分析裝置GC-2014(PDD) | |
| ·無損檢測裝置 | |
| 微焦點X射線CT系統(tǒng)SMX-3000micro | |
| ·熱分析裝置 | |
| 差示掃描量熱儀DSC-60系列 差熱-熱重同時分析儀DTG-60系列 | |
| ·燃料電池測試裝置 | |
| 超顯微動態(tài)硬度計DUH-211/211S | |
| ·材料強度測試裝置 | |
| 電子、電裝部件試驗（MMT系列） 電液伺服疲勞試驗機EHF-U系列 液壓試驗機UH-I系列 空氣疲勞試驗機ADT-A系列 | |
| ·燃料電池測試裝置（表面觀察、組成、構(gòu)造、膜厚） | |
| 分析掃描電子顯微鏡 SSX-550型 多道X射線熒光光譜儀 MXF-2400型 ICP發(fā)射光譜儀 X射線衍射儀 XRD-6000型 氛圍控制掃描探針顯微鏡 WET-SPM系列 能量色散型X射線熒光光譜儀 EDX系列 光電直讀光譜儀PDA-7000系列 掃描型X射線熒光光譜儀 XRF-1800型 X-ray檢查裝置（CT） | |
| ·粉體物理性質(zhì)測試裝置 | |
| 激光粒度儀SALD-2201 | |
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2025第十一屆中國國際機電產(chǎn)品交易會 暨先進制造業(yè)博覽會
展會城市：合肥市展會時間：2025-09-20