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近年來,使用CCD并輔以必要的測(cè)量軟件,測(cè)量顯微鏡不僅可以對(duì)所攝取的工件視頻圖象進(jìn)行窗內(nèi)坐標(biāo)測(cè)量,依靠測(cè)量載物臺(tái)帶動(dòng)工件移動(dòng),還可以實(shí)現(xiàn)超視窗的坐標(biāo)測(cè)量,這已經(jīng)成為它的主流用法。為了適應(yīng)這種需求,載物臺(tái)的行程需要更大,計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理功能也需要更強(qiáng)。
另外,近來隨著測(cè)量顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)制作倍率的更加準(zhǔn)確,也可以組合使用具有高倍率觀察、微分干涉觀察、簡(jiǎn)易偏光觀察等功能的通用型光學(xué)頭。在高倍率觀察時(shí),還可以使用FA(輔助對(duì)焦)鏡筒進(jìn)行高度測(cè)量,可以通過縮小視在的景深,提高Z軸方向測(cè)量的重復(fù)精度。測(cè)量顯微鏡配上數(shù)碼相機(jī),
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