DS-2000/14G型光刻機(jī)

參考價	面議

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品標(biāo)簽:

在線詢價收藏產(chǎn)品點擊查看電話

聯(lián)系我們時請說明是智能制造網(wǎng) 上看到的信息，謝謝!

安徽智微科技有限公司是一家專注于微流控領(lǐng)域產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)的企業(yè)，公司擁有多名微流控行業(yè)銷售和技術(shù)人員，憑借強大的資源整合能力和技術(shù)研發(fā)實力，為您提供一站式微流控產(chǎn)、學(xué)、研服務(wù)。

微控設(shè)備

產(chǎn)品名稱：DS-2000/14G型光刻機(jī)主要技術(shù)指標(biāo)：單次曝光面積：1.4mm×1mm曝光基片：100mm×100mm對準(zhǔn)精度：±0.8μm（半自動對準(zhǔn)）膠厚：300μm（SU8膠）自動逐場對焦

DS-2000/14G型光刻機(jī) 產(chǎn)品信息

微信截圖_20200116173859.png

產(chǎn)品名稱：DS-2000/14G型光刻機(jī)
主要技術(shù)指標(biāo)：
單次曝光面積：1.4mm×1mm
曝光基片：100mm ×100mm
對準(zhǔn)精度：±0.8μm（半自動對準(zhǔn)）
膠厚：300μm（SU8膠）
自動逐場對焦；
分辨力：1μm；
X、Y、Z、θ四自由度電動位移臺
X、Y平移重復(fù)定位精度：0.65μm（3σ）
Z向運動精度：1μm
技術(shù)特點：
該機(jī)可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長的極紫外光作為光源，用DMD數(shù)字微鏡陣列替代傳統(tǒng)掩模板，采用積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明，并配備了雙目雙視顯微鏡和CCD圖象對準(zhǔn)系統(tǒng)（可同時使用），拼接獲得大面積圖形，曝光設(shè)定采用微機(jī)控制，菜單界面友好，操作簡便。