關鍵技術

● 從小面積到大面積的高靈敏度分析

● 的深度剖析表現

● 自動電荷雙束中和技術

● 自動化和遠程控制，提供靈活的工作環境

● 多樣化的配置

微聚焦的掃描X射線源

高靈敏度和低噪音能量分析器

● 作為一種重要的表面分析方法，廣泛應用于固體材料表面的元素組分和化學態的研究，例如電池材料、催化劑、集成電路、半導體、金屬、聚合物、陶瓷和玻璃等，可滿足從研發到失效分析的廣泛分析需求。

● 采用了新的高靈敏度分析器，靈敏度是上一代的 2 倍，具有更低的檢測限，能夠實現從微區(<10 µm)到大面積(>1 mm)的高靈敏度化學態分析。

● 微聚焦掃描 X 射線和 SXI 影像，通過類似 SEM 的 SXI 影像可以作為樣品導航，實現精準地定義微區分析位置。

*SXI : 掃描X射線激發的二次電子影像

的深度剖析表現

使用微區XPS分析技術進行準確的深度剖析

● VersaProbe 4 的高靈敏度微區分析和高度可重現的中和性能確保了深度分析的性能。樣品傾斜和樣品旋轉相結合，可同時實現高深度分辨率和高能量精度。

在不同起飛角（TOA）下獲得的 10 nm SiO2/ Si 薄膜的深度剖析結果

自動電荷雙束中和技術

無需參數調整即可滿足任何絕緣樣品微區分析的荷電中和需求

● VersaProbe 4 配備了自動中和技術，無需分別對每個待測樣品進行中和參數調整。自動中和采用低能量電子束和低能量離子束的雙束同時中和的技術，實現了簡單可靠的高效中和。

● 該技術適用于中和各種材料，配合操作軟件所提供的圖像配準功能，可為微區分析帶來出色的自動化操作體驗。對于無機/有機混合材料以及從微區到大面積的所有分析尺寸，均可進行可靠且自動化的檢測分析。

微區特征的圖像配準功能

自動化和遠程控制，提供靈活的工作環境

遠程訪問實現對儀器的遠程控制

● VersaProbe 4 允許通過公司的局域網或互聯網訪問儀器。一旦樣品被引入分析室，就可以使用 Intro 照片和 SXI 導航樣品，創建采集任務的自動隊列，并可遠程檢查測量狀態和分析數據。我們的專業人員可對儀器進行遠程診斷。

多樣化的配置

● Ar 團簇離子槍（Ar-GCIB）

● UPS（紫外光電子能譜）

● LEIPS（低能量反光電子能譜）配件用于 AES 分析的掃描電子槍配件

● 專用 REELS 電子槍

● 可拓展的樣品進樣室

● 樣品傳送管

● 冷熱變溫樣品臺

● 4 觸點冷熱變溫樣品臺

● 雙陽極X射線源

● C60 離子槍

● 樣品預制備腔室