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寧波潤華全芯微電子設備有限公司
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高產能機臺結構緊湊，占地面積小，布局采用的分體式結構，高速機器人在工藝單元間傳遞，同時工藝單元中采用共用擺臂結構，使單元結構尺寸大幅減小，單元配置更加靈活；另外機臺采用了目前的軟件平臺調度功能，可以充分發揮機器人的利用率，減少機器人與各工位的等待時間，全新的軟件操作界面，使操作員更方便直觀的使用，大大提高工作效率，減少失誤率
高產能機臺結構緊湊，占地面積小，布局采用的分體式結構，高速機器人在工藝單元間傳遞，同時工藝單元中采用共用擺臂結構，使單元結構尺寸大幅減小，單元配置更加靈活；另外機臺采用了目前的軟件平臺調度功能，可以充分發揮機器人的利用率，減少機器人與各工位的等待時間，全新的軟件操作界面，使操作員更方便直觀的使用，大大提高工作效率，減少失誤率。機臺產能可達280WPH。 晶片尺寸
2-6寸
技術參數
1、晶片尺寸： 2-6英寸
2、上下料方式： 高效機械手自動傳送
3、離心機轉速
額定轉速： 6000 rpm
最小調整量： 1rpm
轉速精度： ±2rpm（50 rpm～6000 rpm）
4、吸盤(Chuck)
夾持方式： 真空吸附
吸盤真空檢測： 數顯真空壓力傳感器
5、 收集杯材質(CUP)： PP，氣液分離排放
6、 CUP自動清洗功能： 有
7、 電機漏液防護功能： 有
8、 光刻膠/顯影液過濾： 有，0.1um/0.2um可選
9、 熱處理單元： 熱板HP單元（max.180℃）10個，冷板CP單元2個，根據工藝制程不同可靈活選配
10、光刻膠供應： 采用高精度氣動/電動計量泵
11、顯影液供應： 采用N2加壓
12、滴膠精度： ±0.1ml ；滴膠范圍：0.6-3ml
13、工作方式： 自動供膠，自動顯影，自動取送片
14、產能： 280WPH
應用行業
廣泛服務于半導體、LED、分立器件、功率器件等領域
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