KS-S300 12寸星型涂膠顯影機

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更新時間：2023-06-19 14:50:56瀏覽次數：349次

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沈陽芯源微電子設備股份有限公司

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產品簡介

KS-S300涂膠顯影機可用于封裝、MEMS、OLED等領域的涂膠顯影制程，每小時可加工100片晶片，同時產品可兼容不同材質的晶片如硅、玻璃片、鍵合片、化合物等。產品可應用于邏輯類、存儲類芯片、攝像頭芯片、功率器件芯片、OLED制造等領域。曾獲得遼寧省優秀新產品二等獎，遼寧省科學技術獎二等獎。產品通過SEMI S2認證。

詳細介紹

產品優勢：

1.適合超薄晶圓處理，超厚膠涂敷、顯影、烘焙工藝
2.涂膠單元特殊設計，避免高黏度膠離心涂敷時產生的“棉花糖"現象
3.機臺為全封閉模塊化結構，工藝單元靈活選配
4.占地面積小，產能高
5.工藝上可實現5mm以下晶圓翹曲片的傳送加工，熱板采用漸進式烘焙
6.可滿足工廠自動化需求，無人值守

應用領域：

● 封裝
● MEMS
● OLED

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