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沈陽芯源微電子設備股份有限公司
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KS-C300涂膠顯影機可用于封裝、 MEMS、OLED等領域的涂覆顯影制程，每小時可加工180片晶片，同時產品可兼容不同材質的晶片如硅、玻璃片、鍵合片、化合物等。產品可應用于邏輯類、存儲類芯片、攝像頭芯片、功率器件芯片、OLED制造等領域。國產化集成電路設備的成功應用為客戶節約了大量成本。產品通過SEMI S2認證。
1.適合超薄晶圓處理，超厚膠涂敷、顯影、烘焙工藝
2.涂膠單元特殊設計，避免高黏度膠離心涂敷時產生的“棉花糖"現象
3.機臺為全封閉模塊化結構，工藝單元靈活選配
4.占地面積小，產能高
5.工藝上可實現5mm以下晶圓翹曲片的傳送加工，熱板采用漸進式烘焙
6.可滿足工廠自動化需求，無人值守
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