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8英寸勻膠顯影機(jī) ACD8 COATER&DEVELOPER

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更新時(shí)間：2023-11-17 08:03:29瀏覽次數(shù)：264次

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寧波潤(rùn)華全芯微電子設(shè)備有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：10條

所在地區(qū)：浙江寧波市

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

詳細(xì)介紹

設(shè)備配置	2C2D、4C、4D
設(shè)備產(chǎn)能	120WPH
襯底材質(zhì)	Si、Glass等
線寬	≥90nm
適用工藝	i一line、KrF、ArF、PI、SOG、SOC
應(yīng)用領(lǐng)域	IC、*封裝、MEMS、功率器件、射頻集成、科研等
技術(shù)特征	?設(shè)備占地面積小，產(chǎn)能高，工藝單元靈活選配； ?熱板采用漸進(jìn)式烘烤，冷盤漸進(jìn)式冷卻； ?能適應(yīng)5mm以下翹曲晶圓或超薄晶圓傳送和加工工藝； ?標(biāo)配電動(dòng)泵，標(biāo)配勻膠顯影管路溫控功能； ?可實(shí)現(xiàn)兩種尺寸兼容； ?可選配高精度熱板、光學(xué)對(duì)中、WEE等單元部件； ?可選配interface模塊,實(shí)現(xiàn)Inline功能。
設(shè)備尺寸	168015502500mm（WDH）